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激光焊机工作气体对输出功率的影响因素探求 　　[摘要]介绍CO2激光器工作气体的组成及工作原理,阐述TLF12000t激光器的工作气体组成参数及其杂质气体对激光输出功率的影响。 　　[关键词]CO2激光器 气体混合比 　　中图分类号:TN2文献标识码:A文章编号:1671-7597(2009)0920026-02 　　 　　一、前言 　　 　　邯钢冷轧厂酸轧生产线采用的是从德国米巴赫公司引进的激光焊机。此激光焊机使用TLF12000t大功率CO2激光器。本文将从试验上研究TLF12000t激光器的工作气体参数及其放电参数对激光输出功率的影响,得出不同气体工作气体组成比份、杂质气体对电极放电和激光输出功率的关系,为该激光器日后的维护奠定基础。 　　 　　二、CO2激光器工作气体的组成 　　 　　CO2激光器的工作物质就是是由He、CO2、N2组成的具有一定压力和一定比份的混合气体,混合气体的参数对激光器的输出功率具有重要的影响。 　　CO2气体激光器,顾名思义,靠CO2气体形成粒子数反转而产生激光发射。但是单纯的CO2气体并不能获得高功率的稳定的激光振荡,这是什么原因呢?我们知道,CO2分子处于不断振动中,其基本振动形式有三类,即对称振动、形变振动和反对称振动。这三种振动分别对应CO2分子不同的能级,对称振动对应激光下能级,形变振动对应激光基态能级,反对称振动对应激光上能级,如图1所示。正是由于非对称振动的最低能级的寿命比对称振动的要高,即是亚稳态能级,所以CO2分子本身非常适合于激光运行。 　　 　　我们知道,产生激光振荡的根本是在激光上能级和下能级之间产生粒子数反转,为了大大增强CO2分子的粒子数反转,必须要对上能级进行选择激发。这通常采用加入辅助气体N2气来实现。因为N2气含有2个原子,能够实现横向振动,而且其振动的最低能态与CO2分子上能级的能态非常接近,也处于亚稳态。这样就很容易将能量传递给CO2分子的上能级,形成粒子数反转。当CO2气体和N2气混合在一起,当高压放电时,气体中的许多自由电子高速运动,与N2气发生碰撞,N2分子就被激发到振动能级上,并被保持比较长的时间,积累能量。如果受激的N2分子与处于基态的CO2分子发生碰撞,由于基态CO2分子没有振动能,N2分子的能量将很快转移给CO2分子,并激发CO2分子到激光上能级,并释放没有振动能的N2分子。所以对CO2激光上能级的选择性激发将大大增强粒子数反转率。 　　在激光上能级的粒子经受激发射后,迅速转移到激光下能级,激光下能级的寿命很短,粒子通过自发辐射,从激光下能级迅速转移到(010)能级。但是(010)能级是亚稳态的,能级寿命比较长,所以粒子从(010)能级转移到基态就非常困难,由于(010)能级对应CO2分子的形变振动,就称形变振动是CO2激光器的瓶颈。解决这个问题的方法是采用第二种辅助气体,即He气(如图2所示)。He的质量很轻,与其他气体碰撞后很容易获得能量,与玻璃管或热交换器碰撞又容易失去能量,因此表现出很好的热传导性。处于形变振动的CO2分子和He原子碰撞后,CO2分子失去能量,返回到基态,重新参与激光振荡的循环,而He原子获得能量,通过与玻璃管或热交换器碰撞的碰撞将能量转移出去。 　　处于形变振动的最低能量的(010)态又会造成激光振荡的另一个问题,因为处于形变振动的最低能量的(010)态的能量非常的低,接近于0,很容易受到热激发的影响。当CO2分子的温度超过373K,CO2气体分子之间的热碰撞将激发CO2气体分子位于形变振动的最低能量的(010)态,这样,参与激光激发的这个能态就被大量的粒子所占据,无法释放,这样激光振荡的循环就被打破了。为了获得高的粒子数反转和高的激光增益,CO2分子的温度必须小与373K。所以CO2气体激光器必须要有冷却系统。 　　 　　三、CO2激光器工作气体压力和混合比对激光器输出功率的影响 　　 　　从以上叙述可知CO2气体激光的能级微观结构决定了CO2激光器的工作物质除了CO2气体外还必须含有N2和He气。实际上其他气体如CO、Xe、H2O等也能帮助激光器提高输出功率,但是出于工程技术的考虑,大功率工业激光器一般都不加这些气体。CO2、N2和He三种混合气体就构成了CO2激光器工作气体的组成,这三种气体的气压和混合比都对激光器的输出有很大的影响。下面讨论这两个方面的影响。 　　(一)工作气体压力的影响 　　射频电源是通过辉光放电将电能耦合到工作气体中的,而在辉光放电中,电子获得的能量是与分子的平均自由程和场强E的大小成正比。当分子的平均自由程增加时,气体的压力P降低,那么,场强与压力的比值E/P就决定了电子的动能。如果电子的动能与原子电离能相当,大部分的电子和原子的碰撞将造成电