直拉硅单晶中原生氧沉淀的透射电镜研究pdf1833Kb.PDF

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直拉硅单晶中原生氧沉淀的透射电镜研究pdf1833Kb

56 7 2007 7 Vol. 56, No.7, J ly, 2007 10003290200756(07)411304 ACTA PHYSICA SINICA 2007 Chin. Phys. Soc. * 1) 1) 2) 徐 进 李福龙 杨德仁 1) ( , 361005) 2) ( , 310027) ( 2006 11 10 ; 2006 12 15 ) ( NCZ) ( CZ) . , NCZ , 5 nm , CZ , . , 650 NO . : , , PACC: 7280C, 6116D, 8130M , . 1引 言 , NCZ , , N2V2 , , , . Voronkov , . [ 8] , , ( 1414 ) , Void , Void 18 3 [1] [9] 275 10 cm . . , , . [ 2] , , , ,NCZ . , CZ , ( VLSI) , . [ 6, 10] , ; , , ,NCZ . , . , , , [ 3] . , , , [ 11, 12] , . Void , Void 100 nm, , NCZ ( gate oxide integrity, [ 13, 14] , NCZ [ 4] GOI) , . Void . , : NCZ , [ 5,6] . Void NCZ , , , ,

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