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纳米级分辨力重载电控二维倾斜调整架的设计 　　摘要：针对采用斐索干涉仪检测大口径光学元件超高精度变形中如何实现标准器高分辨力调整问题，设计了一种大载荷、电动高分辨率光学二维倾斜调整架，通过分析计算，确定了蜗轮蜗杆加滚动丝杆的二级传动机构，并选择步进力矩电机驱动，实现了能自锁的纳米级分辨力调整。结合实际工作负载进行了应力分析，证明其稳定性满足干涉仪检测的要求。 　　关键词：干涉仪；调整架；纳米级分辨力；电控；大载荷 　　【分类号】：TG333.7 　　0、引言 　　伴随光学加工技术的飞速发展，对光学元件的检测要求越来越高，当使用干涉仪检测光学镜片时，对光学调整架也提出了越来越高的的要求。为排除人员现场调整产生的各种振动影响，对于大型干涉仪中标准器的二维高分辨力调整，即要求实现两维倾斜调整（、），又要具有电控调整功能，实现角度亚秒级电控精确定位，同时保证其稳定性，且调整架有锁紧保持力矩，在负载上百公斤的情况下，稳定后检测时不能发生漂移，保证干涉仪对光学元件的超高精度测量。鉴于此，研制一种电动重载高分辨力二维倾斜光学调整架是有很大的现实意义。 　　1、使用要求及指标参数 　　主要技术指标要求：倾斜调整分辨率小于等于1″；调整范围为±1°；由于需要进行大载荷试品或标准器的调整，所以调整架载重需要大于等于150kg；同时内径要求大于等于528mm；受工作台限制，外径要求小于等于850mm；通光口径要求大于等于350mm。 　　精密调整架可以实现角度精确调整，是现代精密机械领域的关键技术之一。目前通过机械方式获得非常高的分辨力是非常困难的，因此需要进行多级细分和合理的消隙结构。 　　由于调整架需要在负载上百公斤的情况下保持运行稳定，所以、调整主要是通过三个顶杆与调整板接触的三个点构成一个等边三角形，其中一个点与调整板固定，其余两个点与调整板上的V型凹槽块相配合，V型槽开口朝向圆心，引导两点在等边三角形的中心线上移动，实现、的调整。 　　、的驱动组件的工作原理是通过电机驱动蜗杆，并带动蜗轮转动，蜗轮将转动传递给与其连接的法兰，钢套与丝杆连接并且钢套上有V型导向槽可以有效防止丝杆转动，从而使丝杆上下移动，实现、的调整。 　　2、关键参数计算 　　选择电机S42D110B-MA100S2为行星减速步进电机，双端输出，步距角，保持力矩4NM左右，容许转矩0.8Nm，断电后行星之间咬合力矩0.5Nm，输出轴直径5mm，减速比1/36。 　　微位移调整计算 　　电机的减速比是1：36，蜗轮蜗杆减速比是1：36，电机转，丝杠上升或下降的高度为H： 　　微角度调整计算： 　　调整件三个支撑点ABC（A为固定点。BC为动点），通过三个顶杆与之连接。三个支撑点构成边长为AB=AC=BC≈558mm的等边三角形。 　　H=0.000643mm h=483mm 　　倾斜调整分辨力为： 　　通过计算在调整范围为正负1°时，倾斜调整分辨力为0.275″，小于要求的1″，符合要求。 　　3、机械结构设计 　　1-手轮 2-电机 3-蜗杆 4-蜗轮 5-法兰 6-丝杆 7-顶杆 　　图1 、驱动组件 　　、的驱动组件的工作原理（X、Y工作原理相同，现以X为例说明）：通过电机驱动蜗杆，并带动蜗轮转动，蜗轮将转动传递给与其连接的法兰，顶杆与丝杆连接并且顶杆上有V型凹槽块可以有效防止丝杆转动，从而使丝杆上下移动，实现、的调整。上述角度的微调可以通过摇杆控制，也可以通过转动手轮来实现。 　　调整板组件工作原理：两个V型凹槽块和圆形凹槽块与调整板固接，与支撑柱相配合。圆形凹槽块与关节球轴承连接，限制调整板的Z向位移。两个V型槽开口方向朝向圆心，引导顶杆在等边三角形的中心线上移动，并限制了调整板θz的自由度。V型凹槽块侧面的调节块与调整板固接，拧动侧面的螺钉可以调节V型槽开口角度，以减小加工时带来的误差。 　　1- X、Y组件 2-拉簧组件 3-支撑柱 4-下底板 5- 关节球轴承 　　图2 总组装图 　　调整板由三根支柱支撑，三个支撑点组成一个等边三角形，支撑柱和调整板由关节球轴承连接，限制调整板的Z向位移。另两个支柱为X、Y组件，支柱顶端顶杆与调整板的V型导向槽配合，限制了调整板的自由度。蜗轮蜗杆有自锁功能，调整到合适角度后可长期放置。调整板与下底板由四组拉簧组件连接，曾圆周均布。拉簧组件起紧固消隙作用，在放上大载荷试品时可有效防止侧翻，拉簧组件可调节预紧力大小。 　　设计后的调整架内径540mm；外径772mm；通光口径420mm；高301mm；自重约70kg，符合设计要求。通过电机与蜗轮蜗杆细分结构实现了光学调整架的高精度调整，克服了弹簧和调整螺栓组合的结构抗震性能差的难点，实现了调整精度高，稳定性好的结构设计。