谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棸 暋 棾 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棾 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棾 暋 暋 暋 斖斸旘棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸棾灢棸椀棻棿灢棸椂 谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 棳 棻棽 棻灣 棻 马 磊 棳卢启鹏 棳彭忠琦 暋 棬 棳 椈 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春 棻棶 棻棾棸棸棾棾 棳 棭 中国科学院研究生院 北京 棽棶 棻棸棸棸棾椆 椇 棳 摘要 为提高上海光源搭建的国内首条软 射线谱学显微光束线站的整体性能 分析了其分光装置 变包含角平面光 斬 棴 棳 栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素 推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关 棳 暎 棳 棳 暎 系 并结合具体要求进行了误差分配 针对光斑水平角漂移重复精度的检测 采用自准直原理 构建了测试系统 利用 棳 棳 棳 暎 该系统 完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测 其结果为 满足设计指标 的要求 对安装 棸棶椂椃曞 棻曞 棳 暎 棳 调试后的束线进行了总体性能测试 结果均满足谱学显微设计和使用要求 由此表明 提出的对谱学显微光束线光斑水 棳 暎 平漂移误差来源的分析及检测方法 有效保证了束线性能的实现 椇 椈 椈 椈 关 键 词 变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析 暋 暋 中图分类号椇 棳 文献标识码椇 椇 棷 斣斎椃棿棿灡棻斣斅椆棽暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棸棾棶 棸椀棻棿 斄旑斸旍旙旈旙斸