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法硅单晶生长电阻网络建模及仿真分析-西安理工大学学报
西安理工大学学报
法硅单晶生长电阻网络建模及 仿真分析
弋英民 张 潼
西安理工大学 自动化与信息工程学院 陕西 西安
摘要 法硅单晶生长系统具有强非线性及大滞后的特点 本文就该系统建立了传热传质的低阶
模型 计算了该模型在初始条件下的稳态解 并进行线性化处理及分析 根据系统的可控性及稳定性
确定控制策略 并设计控制器 结果表明 在低阶模型中 采用 提出的简化辐射角系数能较
好的反映工业中晶体生长过程特性 系统线性化后的性能分析表明 仅将加热器功率作为输入时 系
统是不可控不稳定的 故采用模型预测控制算法作为控制策略 设计了无干扰无延迟的无约束模型预
测控制器和无干扰有延迟的无约束模型预测控制器 仿真结果验证了所设计的方法的有效性
关键词 单晶硅 法 电阻网络类比 低阶模型 模型预测控制
中图分类号 文献标志码 文章编号
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