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浅述平面平晶工作面不确定度 　　摘 要：文章结合工作实际情况，依据JJG28-2000《平晶》检定规程，对工作用平面平晶的工作面不确定度进行分析评定。 　　关键词：平晶；工作面平面度；不确定度 　　平晶（包含平面平晶、平行平晶和长平晶）是开展长度计量工作中经常使用的检验平直度的计量器具。平面平晶主要对量块、通用量具等工作面的平面度进行检测；平行平晶是用来检测千分尺等计量器具的工作面的平面度和平行度。长平晶主要用于以等倾干涉法检定研磨平尺的平面度。平晶工作面平面度的测量是平面度测量中最重要的测量之一，但目前对于平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定却是仁者见仁、众说不一。因为此评定过程需要运用实际测量数据，现以平面平晶工作面平面度的测量结果为例进行不确定度评定，予以叙述，希望能够为从事计量工作的同行提供一些参考。 　　1 概述 　　1.1 测量依据 　　JJG28-2000《平晶》检定规程；JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示。 　　1.2 测量环境条件 　　温度为（20±5）℃；相对湿度≤80%。 　　1.3 测量标准 　　2等标准平面平晶（扩展不确定度U99≤0.020μm），等厚干涉仪；立式光学计等。 　　2 平面平晶的工作面不确定度的分析评定 　　2.1 测量方法及数学模型 　　在以光波干涉原理制成的等厚干涉仪上，以D150mm的2等标准平面平晶为标准器，采用等厚干涉原理以比较方法对被测平面平晶进行测量。测量时将标准平晶安放在工作台中央，工作面朝上，将被测平晶的工作面朝下研合在标准平晶的有效工作范围内，通过目镜视场可观察到干涉条纹，将干涉条纹调至3或5条。静止等温后，用目镜视中的辅助十字线借助测微鼓轮读出干涉带间距a和干涉条纹弯曲量b，通过计算便可获得被测平晶工作面的平面度。 　　根据《JJG28-2000平晶检定规程》，被测平面平晶的工作面平面度可由下式得到： 　　F=b/a×？姿/2-（D/96）2×F0 　　式中：F：被测平晶的平面度，单位μm；b：干涉条纹弯曲量，单位格；a：干涉条纹间距，单位格；？姿：钠光波长，为0.5893μm；D：被测平晶有效直径，单位mm；F0：2等标准平晶在96mm范围内的平面度，单位μm。 　　2.2 方差和传播系数 　　u■■（y）=■[？琢f/？琢x■■]2u2（xi） 　　u■■=u2（F）=c2（a）u2（a）=c2（b）u2（b）+c2（F0）u2（F0） 　　c（a）=-b/a2?？姿/2； c（a）=1/a?？姿/2；c（F0）=-（D/96）2 　　对于D=100mm，通常a=100格，b=16格，则 　　c（b）=（1/a）×（？姿/2）=0.0030（μm）（格）-1； 　　c（a）=-（b/a2）×（？姿/2）=-0.00047（μm）（格）-1；c（F0）=-（D/96）2-0.92 　　对于D=60mm，通常a=60格，b=6格，则 　　c（b）=（1/a）×（？姿/2）=0.0049格-1；c（a）=-（b/a2）×（？姿/2）=-0.00049格-1 　　c（F0）=-（D/96）2=-0.32 　　对于D=30mm，通常a=40格，b=4格，则 　　c（b）=（1/a）×（？姿/2）=0.0074（μm）（格）-1；c（a）=-（b/a2）×（？姿/2）=-0.00074（μm）（格）-1；c（F0）=-（D/96）2=-0.091。 　　2.3 各输入量的标准不确定度评定 　　2.3.1 干涉条纹间距测量时引入的标准不确定度u（a） 　　干涉条纹间距测量重复性引入的标准不确定度u（a1）： 　　a.根据JJF1100-2003 《平面等厚干涉仪校准规范》的相关技术规定，在重复性条件下，对a值共进行20次测量，按贝塞尔公式计算得出实验标准差s，其3s≤0.020μm，则u（a1）=0.020μm/3=0.0067μm≈0.67格；自由度：v（a1）=n-1=19。b.测微目镜示值误差引入的标准不确定度u（a2）。测微目镜在任意1mm内不超过0.5格，该误差在区间0.5格内为均匀分布，取半宽区间，则u（a2）=0.5/■=0.28格。该估计值的相对不确定度为20%，则自由度：v（a2）=12.5。 　　以上两项合成为u（a） 　　u（a）=■=0.73格 　　其自由度可按韦尔奇-萨特斯韦特公式计算，则v（a）=20。 　　则：D=100mm：u（a）×c（a）=0.73格×-0.0047μm/格=0.0034m； 　　D=60mm：u（a）×c（a）=0.73格×-0.0049μm/格=0.0036μm； 　　D=30mm：u（a）×c（a）=0.73格×-0.00