光学元件之镀膜技术.PDF

光學元件之鍍膜技術 林子閔 2004/7/14 學薄膜技術的應用 產業 Characteristics of so-called classical optical coatings NEUTRAL ANTI- R R R BEAM REFLECTION SPLITTER COATING HIGH REFLECTION T T T WIDE SHORT PASS LONF PASS EDGE FILTER EDGE FILTER BANDP ASS Rs T T R POLARIZING NARROW BEAM SPLITTER BANDPASS Rp MINU FILTER 學薄膜 基本上是藉由 干涉作用而達到效果的。是在 學元件上或 獨 立的基板上鍍上一層或多層的介電質膜或 金屬膜或介電質膜 與金 屬膜組 成的膜 堆來改變 光波傳 導的特性。因 此 波在薄膜中行 進才 會發生 透射、反射、吸 收、散射、相位偏移 等變化。 光波經過薄膜後在光譜上會起變化 ，因此這些變化會使得 學薄膜 至少具有下列功能： 1.反射 的 提高或 穿透 的降低 2.反射 的降低或 穿透 的 提高 3.雙色 、偏極 光的分光作用 4.光譜帶通或截止 等濾 作用 5.輻射器 之 通量調變 6.光電資訊的儲存及輸入 在膜層中 ， 波的干涉 結果，如R% 、T%都是 與膜質本 身和兩邊界 邊的 折射 有關 ，相位變化也是如此。 由 干涉作用造成的反射 有時 升高 ，有時反而降低 ，都要視膜層 折射 高於或低於 基板折射 而定。 若 NfNs ，則反射 會提高 NfNs ，則反射 會降低 因此若要在鏡片上鍍上抗反射膜 ，薄膜的 折射 率就必須小於基板的 折射 ，且膜厚要在 1/4波長的奇數倍 ，才會使反射 達到最小 。 No A IR 若以反射率能完全降至零的薄 Nf