《太阳能电池片湿刻蚀的应用》-毕业论文（设计）.doc

精品 精品 苏州市职业大学 毕业设计（论文）说明书 设计（论文）题目 太阳能电池片湿刻蚀的应用 系 电子信息工程系 专业班级 08电气2 姓 名 学 号 087301218 指导教师 年 月 日 太阳能电池片湿刻蚀的应用 摘要 湿刻就是湿法刻蚀，它是一种刻蚀方法，主要在较为平整的膜面上刻出绒面，从而增加光程，减少光的反射，刻蚀可用稀释的盐酸等。湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。着重研究各种化学品的流量对电池片刻蚀深度的影响。首先查看各种资料，掌握本课题相关的知识:通过对氢氟酸，硝酸，盐酸，氢氧化钠等化学品流量，温度，湿度等对太阳能电池片的影响。通过技术软件分析，优化工艺参数，得到最优参数。 关键词：湿法刻蚀 ；腐蚀；流量；太阳能电池 Solar cell wet etching application Abstract Wet carved is wet etching, it is a kind of etching method, mainly in the relatively flat membrane surface, thereby increasing suede carving out process, reduce light light reflection, etching available dilute hydrochloric acid etc. Wet etching is will etching materials soaked in a mordant within the corrosion of technology. It is a kind of pure chemical etching, has excellent selectivity, etching the current film will cease, and wont damaged following a layer of film to other materials. Research on various chemicals to the flow the influence of battery piece etching depth. First check all kinds of material, grasps this topic relevant knowledge: by hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sodium hydroxide etc chemicals flow, temperature, humidity and so on the influence of solar cell. Through technology software analysis, optimization of process parameters, obtain optimal parameters. Keyword:wet etching; Corrosion; Flow; Solar battery 目录 TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc8150 摘要 PAGEREF _Toc8150 1 HYPERLINK \l _Toc20754 目录 PAGEREF _Toc20754 3 HYPERLINK \l _Toc2982 第一章 前言 PAGEREF _Toc2982 5 HYPERLINK \l _Toc21762 第二章 湿法刻蚀及成长工艺 PAGEREF _Toc21762 8 HYPERLINK \l _Toc8665 2.1湿法刻蚀的基本过程 PAGEREF _Toc8665 8 HYPERLINK \l _Toc17413 2.2 主要的化学反应 PAGEREF _Toc17413 8 HYPERLINK \l _Toc31004 2.3 湿法刻蚀的生长工艺 PAGEREF _Toc31004 8 HYPERLINK \l _Toc9717 2.3.1湿法刻蚀的