二次配工程动工标准.docVIP

中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. print 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: PAGE19 OF NUMPAGES 19 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name： FILENAME SP-006-0 中緯積體電路(寧波)新建工程 氣體管線二次配工程規範 CONTENTS PAGES TOC \o 1-1 1. 目的 PAGEREF _To\h 3 2. 範圍 PAGEREF _To\h 3 3. 文件送審 PAGEREF _To\h 4 4. 施工說明 PAGEREF _To\h 4 5. 其他說明 PAGEREF _To\h 9 6. 驗收標準 PAGEREF _To\h 10 7. 保固期限 PAGEREF _To\h 12 目的 為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。 範圍 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖(PID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。 本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。 配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。 氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。 文件送審 文件名稱 投標階段 (3份) 設計階段 (5份) 竣工階段 (5份) AUTONUMOUT 報價表(Quotation form) X AUTONUMOUT 專案組織表(Project organization) X X AUTONUMOUT 專案執行時程表(Project schedule) X X AUTONUMOUT 工程界面清單及位置圖(List location of tie-in poin