以光触媒氧化程序处理PFCs之研究-eTop-工程科技推展平台.PDFVIP

行 理 精 類 行 年年 行 立 福 參理葉倫 理 理林 理 年 摘要 全氟化物(perfluorocarbons, PFCs)屬於高暖化潛勢的溫室氣體 ，多用於半導體與光 電產業乾蝕刻及清洗化學氣相沉積製程的反應室用途上 ，雖然其排放量僅佔全球溫室 氣體總量的百分比不到 5% ，但其暖化潛勢卻是二氧化碳的數千倍 ，且據使用量每年 約成長 16% 。目前高科技產業 採取之全氟化物減量策略包括製程最佳化(