共面薄膜电极表面放电冷却技术-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 棿 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶棿 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 棿 暋 暋 暋 斄 旘棶棽棸棻椄 旔 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸棿灢棸椄椂椂灢棸椆 共面薄膜电极表面放电冷却技术 棻灣 棽 棻 棳 棳 周织建 聂伟荣 洪肇斌 棬 棳 椈 棻棶中国电子科技集团公司第三十八研究所 安徽合肥 棽棾棸棸椄椄 棳 棭 棽棶南京理工大学机械工程学院 江苏南京 棽棻棸棸椆棿 椇 棳 暎 摘要 为研究一种可用于雷达领域的新型冷却技术 本文研究了高电压下共面薄膜电极之间的 斈斆表面放电现象 设计 棳 制作了一系列具有不同参数且带有一个阳极针尖以及两个对称布置阴极的样机 通过改变基底表面粗糙度以及不同的 棬 暍 棭 暎 椇 棳 结构参数 如凹槽深度 凹槽宽度以及阴极长度等 进行实验测试 结果表明 主要受到基底表面离子迁移率的影响 凹 椈 椈 槽深度对于共面薄膜平面电极的表面放电现象影响最大 表面放电的电流稳定性随着深度的增加而增加 而放电起始电 椈 暎 压则随着深度的增加而减小 离子与平面基底之间的流体阻力影响相对较小 共面薄膜电极表面放电的研究对于推动 电冷却技术在雷达技术领域的应用具有重要意义暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 表面放电 共面薄膜平面电极 电冷却 表面电流体 雷达技术 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斅椂椂暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椄棽椂棸棿棶棸椄椂椂 斉旍斿斻旚旘旓斻旓旓旍旈旑 旚斿斻旇旑旓旍旓 斺斸旙斿斾旓旑旙旛旘旀斸斻斿斾旈旙斻旇斸旘斿 旂 旂旟 旂 旓旀旚旇旈旑斻旓旍斸旑斸旘旀旍斸旚斿旍斿斻旚旘旓斾斿旙 旔 棻灣 棽 棻 斱斎斚斦斱旇旈灢旈斸旑 棳 棳