垂直布里奇曼法生长晶体时柑涡下降速度的优化研究.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 一 一 文章编号 一 垂直布 里 奇 曼法生 长 晶体 时柑 涡 下 降速度 的优化研 究 李万 万 , 桑 文斌 , 阂嘉华, 郁 芳, 张 斌 , 王 昆黍 , 曹泽 淳 土 海 大 学材 料 科 学与 工 程 学院 电子 信 息材 料 系, 上 海 在 奇 曼 晶 长 的 , 锅 和 生 长 之 间 摘 要 垂 直布里 法 体生 过程 中 增 下 降速度 晶体 速度 的关系对生长 出来 的晶体质量有很大 的影 响 本文采 用有 限元法对探测器材料 的晶体 生长过程进行 了热分析 , 主要研究 了不 同的柑祸 下 降速度对生长过程 中晶体生长速度及 固液界 · 面形状 的影 响, 发现材料 的热导率和相变潜热的 比值是影 响固液界面形状 的主要 内因 模拟 结 , , , 果表 明 当柑竭下 降速度 玲 、 时 其数值与晶体生长速度接近相等 可获得接近水平 一 的 固 液界面 实 际的 晶体生 长实验结果 与计算机模拟 的结论基本一致 因此 , 通过适 当的选 择和调节增竭 下 降速度是获得 高质量 晶体的可行技术方案 关 键 词 垂直布里奇曼法