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TEO 先锋科技股份有限公司 Metricon 棱镜耦合波导测试仪产品介绍 目录 2010 棱镜耦合仪工作原理 2010 棱镜耦合仪主要功能 2010 棱镜耦合仪主要应用 2010 棱镜耦合仪主要技术指标 棱镜耦合仪和椭偏仪的区别 2010棱镜耦合仪的主要特点 2010 棱镜耦合仪工作原理 当光入射到棱镜上,随着旋转台的旋转,入射角就随之发生了变化,在某一个入射角度,光子就会经空气狭缝进入薄膜传输出来,因此探测器得到的光子能量就会降低,形成凹陷,这叫做泄漏模 第一个模的位置决定了薄膜的折射率,而模间隔决定了薄膜的厚度 2010 棱镜耦合仪主要功能 薄膜及波导折射率/厚度测量,包括梯度折射率的测量 体材料折射率的测量 薄膜及体材料的双折射测量 附加功能： 移动光纤测试波导损耗 折射率自校准 2010 棱镜耦合仪主要应用 光波导器件 激光晶体 聚合物材料 光波导折射率和厚度测量举例 2010 棱镜耦合仪主要技术指标 折射率精度:?0.001 (甚至更高 0.0001-0.0002) 折射率分辨率: ?0.0003(甚至高于0.00005) 厚度精度:?(0.5%+50?) 厚度分辨率:?0.3% 折射率测量范围:2.65以下(一些情况可达2.80以下) 操作波长:632.8nm,1310nm,1550nm以及其他可见光/近红外光 允许的基底材料:硅、砷化镓、玻璃、石英、GGG、蓝宝石、锂酸铌等 软件:windows version 操作软件 输出:计算机显示和打印机输出 对一些材料的可测量厚度范围 棱镜耦合仪和椭偏仪的区别 2010棱镜耦合仪的主要特点 中/厚膜膜厚折射率(尤其是光波导)的最佳选择 不需要预先知道膜的厚度 独特的气压耦合方式,不需要加耦合液 * Metricon 棱镜耦合仪产品介绍 * * Metricon 棱镜耦合仪产品介绍 * * * *
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