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无尘车间标准等级的划分
无尘车间的等级说明
首先是无尘车间标准等级定义如下：
Class X (at Y μm )
其中X是无尘车间的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子：
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater? (Class 100，1000，10000)，一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5)? (Class 10，1 )，一般要看多几个粒径。
第二个是规定无尘车间的状态，例如：
Class X (at Y μm )，At-rest
第三个是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘车间都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
Class 10000 (0.3 μm = 10000)，As-built? Class 10000 (0.5 μm = 1000)，As-built?
这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。
以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
Fed-Std-209E洁净度定义?
?
?Class Name
?
?
Class Limits
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
Volume Units
Volume Units
Volume Units
Volume Units
Volume Units
SI
U.S.
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
M 1
?
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
-
M 1.5
1
1,240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
-
-
M 2
?
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-
M 2.5
10
12,400
350
2,650
75.0
1,060
30.0
353
10.0
-
-
M 3
?
35,000
991
7,570
214
3,090
87.5
1,000
28.3
-
-
M 3.5
100
-
-
26,500
750
10,600
300
3,530
100
-
-
M 4
?
-
-
75,700
2140
30,900
875
10,000
283
-
-
M 4.5
1,000
-
-
-
-
-
-
35,300
1,000
247
7.00
M 5
?
-
-
-
-
-
-
100,000
2,830
618
17.5
M 5.5
10,000
-
-
-
-
-
-
353,000
10,000
2,470
70.0
M 6
?
-
-
-
-
-
-
1,000,000
28,300
6,180
175
M 6.5
100,000
-
-
-
-
-
-
3,530,000
100,000
24,700
700
M 7
?
-
-
-
-
-
-
10,000,000
283,000
61,800
1,750
ISO-14644洁净度定义?
ISO classification number(N)
Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (co
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