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66章章化学气相化学气相淀积工艺工艺淀积工艺工艺
微电子工艺基础
66章章 化学气相淀积工艺化学气相淀积工艺
本章(4学时)目标:
0、教材p241-p255,p261-p265
1、化学气相淀积的分类
2、熟悉常见的化学气相淀积形成的绝缘材料
3 、Si N 薄膜的作用和淀积机
3 4
理
4 、多晶硅薄膜的作用和淀积机
理
微电子工业基础
66章章 化学气相淀积工艺化学气相淀积工艺
一、化学气相淀积概述
二、化学气相淀积方法及设备
三、典型物质淀积介绍
微电子工业基础
66章章 化学气相淀积工艺化学气相淀积工艺
一、CVD概述
1、定义
2、化学方程式(*** )
3、CVD工艺的特点(*** )
4、CVD工艺系统设计(* )
5、CVD工艺的步骤(* )
6、CVD系统分类(*** )
微电子工业基础 7、CVD工艺的安全问题 (** )
66章章 化学气相淀积化学气相淀积工艺工艺
一、一、CCVDVD概述概述
1、定义(*** )
化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition
)是通过气态物质的化学反应在衬底上淀积薄
膜的工艺方法。
与之对应的是:PVD (蒸发和溅射),它主要
应用于导体薄膜。
微电子工业基础
66章章 化学气相化学气相淀积工艺淀积工艺
一、一、CCVDVD概述概述
1、定义(*** )
与气相外延的比较:
①它与气相外延相似,有些设备可通用;
②外延生长的是单晶膜,衬底也必须是单晶,且要求
的工艺条件高;
③淀积薄膜是非晶或多晶,衬底也 要求是单晶,只
要是具有一定平整度,能经受淀积温度 (温度变化范
围从室温到1250℃)即可,工艺控制要求也没有气
相外延高。
微电子工业基础
66章章 化学气相化学气相淀积工艺淀积工艺
一、一、CCVDVD概述概述
2、化学方程式(*** )
(1)化学反应的类型
发生的化学反应可分为4种类型:(P244 中间)
高温分解反应
还原反应
氧化反应
氮化反应
微电子工业基础
66章章 化学气相化学气相淀积工艺淀积工艺
一、一、CCVDVD概述概述
2、化学方程式(*** )
(2)化学反应方程式
微电子工业基础
66章章 化学气相化学气相淀积工艺淀积工艺
一、一、CCVDVD概述概述
3、CVD工艺的特点(*** )
微电子工业基础
66章章 化学气相化学气相淀积工艺淀积工艺
一、一、CCVDVD概述概述
4、 CVD工艺系统设计(* )
详见教材P245中间。
微电子工业基础
66章章
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