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一种共面波导型表面贴滤波器S参数测量方法研究
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黄辉 刘欣萌 吕昕
1 2
（北京理工大学，北京 100081 ） （中国计量科学研究院，北京 100013 ）
huanghui@
摘 要：本文通过建立微波S 参数片上测量系统，实现对一种共面波导型表面贴滤波器S 参数的测量。文章首先对微波S 参数片上
测量系统的结构进行了研究，并对其误差模型进行了分析。利用矢量网络分析仪、探针台、标准阻抗基片建立了微波S 参数片上测
量系统，实现对一种3 ×3mm 封装的共面波导型表面贴滤波器在DC-3GHz 频段内的S 参数测量。该测量系统的建立以及测量方法
的实现对表面贴器件的设计和性能分析具有很好的指导意义。
关键词：微波S 参数，片上测量，共面波导，滤波器，探针台
Research on Method Measuring Scattering Parameters
of the Coplanar Waveguide Surface Mounted Filter
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Huang Hui Liu Xin meng Lv Xin
（Beijing Institute of Technology, Beijing 100081,China ）1
2
（National Institute of Metrology, Beijing 100013,China ）
Abstract: In this paper, an on-wafer microwave scattering(S) parameters measuring system is based, this system may implement measuring
the S parameters of the coplanar waveguide (CPW) surface mounted (SMD) Filter. This paper firstly researches the configuration of the
on-wafer S-measuring system, and then analyzes its’ error model. The based measuring system is composed of vector network analyzer,
impedance standard substrate, probe station. The measuring system is use to measure the S parameters of the 3 ×3mm CPW SMD Filter,
which frequency is from DC to 3GHz.The realization of the measuring system and method has great benefit to the analyzing performance
and design of the SMD.
Keywords: Microwave scattering parameters; On-wafer; Coplanar waveguide; Filter; Probe station;
1 引言
近年来，现代的各种军用、民用电子装备对高集
成度、高频率、低功耗等要求越来越高，因此器件的
设计大量采用了表面贴技术，随之而来的是首先要解
决这些表面贴器件S参数的测量问题。
由于表面贴器件结构、型式、尺寸多种
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