透射电镜中的EDS STEM和EELS的原理及应用.pdfVIP

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2019-01-06 发布于安徽
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透射电镜中的EDS STEM和EELS的原理及应用.pdf

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透射电镜中的EDS、STEM 和EELS 的原理及应用 ——崔兰、林奎、郭前进 Contents 1. X射线能量色散谱基本原理 2. 扫描透射电子显微术 3. 电子能量损失谱基本原理及应用透射电镜的TEM 成像模式 Beam Sample Obj Screen 透射电镜成像原理示意图电子的弹性散射与非弹性散射特征X射线 X射线能量色散谱入射电子 ——EDS 自由电子云 L K M 弹性散射电子透过电子核心损失电子等离子损失电子原子序数衬度像 —— STEM 电子能量损失谱——EELS 一、X射线能量色散谱基本原理 X射线的产生入射电子特征X射线跃迁散射损失能量的电子不同元素的电子所处的轨道能量不同，跃迁过程中所释放的X射线的能量也各自对应特定值，从而可以用来定性元素种类。在电子束与样品作用的同时，用Si （Li ）漂移探头收集样品释放的X射线，然后按照X射线能量大小、信号强度排列成谱，根据出峰能量值即可进行元素的标定ＥＤＳ定量分析有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各个元素的百分含量。有标样分析准确度高。无标样定量分析：标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算。是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比： K=I /I ， S Std 表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算或用标样数据库给定的，适应于不同实验条件。计算精度不如有标样定量分析电子的弹性散射与非弹性散射特征X射线 X射线能量色散谱入射电子 ——EDS 自由电子云 L