碳含量对犠犆荦纳米复合薄膜结构和性能的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 机 械 工 程 材 料 ３７ ８ Ｖｏｌ．３７ Ｎｏ．８ 　 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ ８ Ａｕ． ２０１３ 　 Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｆｏｒ ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ｇ 　 　 　 ｇ ｇ 碳含量对犠犆犖纳米复合薄膜结构和性能的影响 王蕊，喻利花，许俊华 （江苏科技大学材料科学与工程学院，先进焊接技术江苏省重点实验室，镇江２１２００３） 摘 要：采用多靶反应磁控溅射技术在不同碳靶功率（碳靶功率与碳含量成正比）下制备了 　 纳米复合膜，采用 射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜结构和 ＷＣＮ Ｘ 性能进行表征，研究了碳含量对ＷＣＮ复合膜的影响。结果表明：随碳靶功率即碳含量的增加，薄 膜的物相在原单一ＷＮ相的基础上，出现了新相ＷＣＮ，并且晶格常数不断增大，同时薄膜的硬度 和弹性模量先升后降，在碳靶功率为 时，两者均达到最大值，分别为 ， ；复 １２０Ｗ ３６．７０４０９．１６ＧＰａ 合膜的常温摩擦因数和磨损率随碳含量的增加呈现先减小后增大趋势，高温时薄膜的摩擦因数高 于常温的；薄膜的主要磨损机理是磨粒磨损。 关键词：ＷＣＮ复合膜；反应磁控溅射；微观结构；显微硬度 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ４５３．４ Ａ １０００３７３８２０１３０８００５００５ 　　　 　　　 犈犳犳犲犮狋狅犳犆犪狉犫狅狀犆狅狀狋犲狀狋狅狀犘狉狅犲狉狋犻犲狊犪狀犱犕犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狅犳 狆 犠犆犖犖犪狀狅犮狅犿 狅狊犻狋犲犉犻犾犿狊 狆 ， ， 犠犃犖犌犚狌犻犢犝犔犻犺狌犪犡犝犑狌狀犺狌犪 （ ， ＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＷｅｌｄｉｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏ ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄ ｙ ｙ ｇ ｇｙ ， ， ， ） Ｅｎｉｎｅｅｒｉｎ ＪｉａｎｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｚｈｅｎｉａｎ ２１２００３Ｃｈｉｎａ ｇ ｇ ｇ ｙ ｇｙ