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第5章 电阻式传感器 电阻式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。 第一节 应变式传感器 目前自动测力或称重中应用最普遍的是应变式传感器，应变式传感器有下列优点： 1.精确度，线性度好，灵敏度高 2.滞后和蠕变都较小，寿命高 3.容易与二次仪表相匹配实现自动检测 4.结构较简单，体积较小应用灵活 5.工作稳定和保养方便 应变式传感器除可用于测量力参数外，还可用于测量加速度，振幅等其他物理量。 (二)应变片的基本结构及测量原理 用应变片测量时，将其贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这是用来直接测量应变。 通过弹性敏感元件将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变，则可用应变片测量上述各量，而做成各种应变式传感器。 二、应变片的类型和材料 （一）应变片的类型和材料 1.金属丝式应变片 回线式：横向效应较大 短接式：克服横向效应 金属丝式应变片材料要求 3.金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1微米以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大。 存在问题：温度稳定性差 (二)应变片的粘贴 应变片是用粘合剂粘贴到被测件上的。粘合剂形成的胶层必须准确迅速地将披测件应变传进到敏感栅上。粘合剂的性能及粘贴工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数，线性以及它们受温度变化影响的程度。 对粘合剂和粘贴工艺有严格要求 第二节 压阻式传感器 压阻效应：固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象叫压阻效应。半导体材料的压阻效应特别强。 半导体压阻式传感器的分类： ①粘贴式应变片 ②扩散硅型压阻传感器 特点：灵敏系数大，分辨率高，频率影响高，体积小。主要用于测量压力、加速度和载荷等 结论：全桥电路电压灵敏度为单臂桥的4倍，消除了非线性误差，且具有温度补偿作用。 若ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4, 且R1=R2=R3=R4, 则 (2)采用恒流源电桥减小非线性误差 (二)交流电桥 当被测量为动态量时，应变电桥采用交流电桥。 由于供桥电源为交流电源, 引线分布电容使得二桥臂应变片呈现复阻抗特性, 相当于二只应变片各并联了一个电容, 则每一桥臂上复阻抗分别为 要满足电桥平衡条件, 即U0=0, 则有  Z1 Z4 = Z2 Z3 将Z1 、Z4 、 Z2、 Z3值代入得 整理上式得 交流电桥的平衡条件为 结论： 交流电桥除了要满足电阻平衡条件外, 还必须满足电容平衡条件。为此在桥路上除设有电阻平衡调节外还设有电容平衡调节。 当被测应力变化引起Z1= Z0+ΔZ, Z2=Z0ΔZ变化时, 则电桥输出为： 交流电桥平衡调节 五、温度误差及其补偿 (一)温度误差：由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差, 称为应变片的温度误差。 ①环境温度变化时，敏感栅电阻随温度的变化引起的误差。 敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示 式中: αt——金属丝的电阻温度系数;   Δt—温度变化值, Δt＝t －t0 。 当温度变化Δt时 ②环境温度变化时，试件材料的线膨胀引起的误差 ——应变片灵敏系数 ——试件膨胀系数 ——应变片敏感栅材料的膨胀系数 因此，由于温度变化形成总的电阻相对变化为 (二)温度补偿 通常补偿温度误差的方法有的自偿法和线路补偿法 1．自补偿法 (1)单丝自补偿法：用热处理的方法调整栅丝的温度系数 要实现温度自补偿, 必须有   电阻丝材料与被测材料配合恰当，基本满足上式。 (2)组合式补偿偿法 应变片敏感栅丝由两种不同 温度系数的金属丝串接组成。 组合式补偿应变片的另一种形式：二种串接的电阻丝具有相同符号的温度系数，满足以下条件 由此可求得 2.线路补偿法 ①常用的最好的补偿方法是电桥补偿法。 补偿原理：桥路相临两臂增加相同电阻，对电桥输出无影响。电桥输出电压Uo与桥臂参数的关系为 Uo=A（R1 R4－ RB R3) 式中: A——由桥臂电阻和电源电压决定的常数。 R1—工作应变片； RB—补偿应变片? 温度补偿条件： ①R3=R4。 ②R1与RB为特性一致的应变片。 R1为工作应变片， RB为补偿应变片它们处于同一温度场，且