类神经网路於半导体平坦化制程预测监控伦功能之研究62.pptVIP

類神經網路於半導體平坦化製程預測監控功能之研究 指導老師:陳沛仲 學生:李佶峰 游哲軒 ;摘要 研究目的 網路建構 分析結果與效益評估 結論 參考文獻 ;摘要;研究目的;本研究之研究目的之優點;網路建構;Input的部分皆是Run-in-Run蒐集的實際參數output皆為模擬數據;本研究所採用的學習樣本資料，是來自生產線上 即時數據收集與歷史製程資料記錄，學習樣本資料取生產線之製程與產品參數共2500組，隨機取300組輸入，以建構類神經網路模型中訓練學習。;分析結果與效益評估;(一)尋找NN1的隱藏層數目;(二)尋找NN1的學習速率;(三)尋找NN1的學習次數;(四)尋找NN1的最佳參數組合結果;(五)尋找NN2的隱藏層數目;(六)尋找NN2的學習速率;(七)尋找NN2的學習次數;(八)尋找NN2的最佳參數組合結果;(九)尋找NN3的隱藏層數目;(十)尋找NN3的學習速率;(十一)尋找NN3的學習次數;(??二) 尋找NN3的最佳參數組合結果;利用T檢定分析模擬結果;;;;;;結論;參考文獻;;fViZm$p(t+x~A;E1I5L9PcTgWj#n%r)u@yC:F3J6NaQdUhXl!o*s-w`z.D0H4K8ObRfViZm$q(t=x~B;E2I5L9PcTgWk#nr)v@yC:F3J6NaQeUhYl!p*s+w`z.D0H4K8ObSfVjZm%q(u=x~B;E2I5M9PdTgXk#or)v@yC:G3J7NaReUiYl!p*s+w`A.D1H4L8OcSfVjZm%q(u=xB;F2I6M9QdTgXk#or-v@zC0G3K7NaReUiYl$p*t+w~A.E1H4L8OcSfWjZn%q)u=yB;F2I6M9QdThXk!os-v`zC0G3K7NbReViYm$p(t+w~A.E1H5L8PcSgWj#n%q)u=yB:F2J6MaQdUhXk!os-v`zD0G4K7ObRfViYm$p(t+x~A;E1I5L9PcSgWj#n%r)u@yC:F3J6MaQdUhXl!o*s-w`z.D0G4K7ObRfViZm$q(t=x~B;E1I5L9PcTgWk#nr)v@yC:F3J6NaQeUhYl!p*s-w`z.D0H4K8ObSfVjZm$q(t=x~B;E2I5M9PdTgXk#nr)v@yC:G3J7NaReUhYl!p*s+w`A.D1H4L8ObSfVjZm%q(u=xB;F2I5M9PdTgXk#or-v@zC0G3J7NaReUiYl$p*t+w~A.D1H4L8OcSfWjZn%q)u=xB;F2I6M9QdThXk!or-v@zC0G3K7NbReViYl$p*t+w~A.E1H5LdTgXk#or-v@zC:G3J7NaReUiYl$p*t+w`A.D1H4L8OcSfWjZn%q)u=xB;F2I6M9QdThXk!or-v@zC0G3K7NbReViYl$p*t+w~A.E1H5L8PcSfWjZn%q)u=yB:F2J6MaQdThXk!os-v`zD0G4K7NbReViYm$p(t+x~A;E1H5L8PcSgWj#n%r)u@yB:F2J6MaQdUhXl!o*s-w`zD0G4K7ObRfViZm$q(t+x~A;E1I5L9PcTgWk#n%r)u@yC:F3J6NaQeUhXl!o*s-w`z.D0H4K8ObSfViZm$q(t=x~B;E2I5M9PcTgWk#nr)v@yC:G3J6NaQeUhYl!p*s+w`A.D0H4K8ObSfVjZm%q(u=xB;E2I5M9PdTgXk#or-v@yC:G3J7NaReUiYl$p*s+w`A.D1H4L8OcSfWjZm%q(u=xB;F2I6M9QdThXk#or-v@zC0G3K7NbReUiYl$p*t+w~A.E1H5L8OcSfWjZn%q)u=yB:F2I6M9QdThXk!os-v`zD0G3K7NbReViYm$p(t+x~A.E1H5L8PcSgWj#n%r)u=yB:F2J6MaQdUhXl!os-v`zD0G4K7ObRfViZm$p(t+x~A;E1I5L9PcTgWj#n%r)u@yC:F3J6NaQdUhXl!o*s-w`z.D0H4K7ObRfViZm$q(t=x~B;E2I5L9PcTgWk#nr)v@yC:F3J6NaQeUhYl!p*s+w`z.D0H4K8ObSfVjZm%q(t=x~B;E2I5M9PdTgXk#or)v@yC:G3J7NaReUiYl!p*s+w`A.D1H4L8OcSfVjZm%q(u=:F3J6NaQeUhYl!p*s+w`z.D0H4K8ObSfVjZm%q(t=x~B;E2I5M9PdTgXk#nr)v@y