分子动力学模拟飞秒激光烧蚀CuZr非晶合金的机理.PDF

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2019-02-23 发布于天津
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激光与光电子学进展 52, 041406(2015) Laser Optoelectronics Progress ©2015《中国激光》杂志社分子动力学模拟飞秒激光烧蚀CuZr非晶合金的机理 1 2 2 2 2 1,2 陈冰朱卫华陈鹏陈志勇郭玮王新林 1南华大学机械工程学院, 湖南衡阳 421001 2南华大学电气工程学院, 湖南衡阳 421001 2 摘要采用结合双温方程的分子动力学方法，数值模拟脉宽为200fs，能量密度为30~45mJ/cm 的超快激光与CuZr 非晶合金的相互作用过程。模拟结果表明：超快激光作用下CuZr非晶材料中原子加热速度比普通晶态金属慢得多；作用过程内部应力的演化表现为首先产生拉应力；并且随着温度与应力的演化，靶材内部产生空泡，空泡的平均大小和数目都与能量密度直接相关；靶材的烧蚀机制表现为机械破损，且烧蚀深度随着能量密度增大而增加。研究结果有助于更深入地理解飞秒激光与非晶合金相互作用机理。关键词激光技术；飞秒激光；烧蚀机理；分子动力学；非晶合金中图分类号 O436 文献标识码 A doi:10.3788/LOP52.041406 MechanismofFemtosecondLaserAblatingCuZrAmorphousAlloy 1 2 2 2 2 1,2 ChenBing ZhuWeihua ChenPeng ChenZhiyong GuoWei WangXinlin 1DepartmentofMechanicalEngineering,UniversityofSouthChina,Hengyang,Hunan 421001,China 2DepartmentofElectricalEngineering,UniversityofSouthChina,Hengyang,Hunan 421001,China Abstract Femtosecond(fs)laserablatingCuZramorphousalloyisinvestigatedwithmoleculardynamics(MD) simulationcombinedwithtwotemperaturemodels.Thedurationoflaserpulseis 200fsandthefluenceisregulated from 30mJ/cm to 45mJ/cm .TheresultsindicatethatthermaldiffusionofCuZrglassmetalismuchmoreslowly2 2 ascomparedwithcrystallinemetal;tensilestressesisobservedintargetatfirst;theaveragesizeandthenumberof thegasbubblesgenerateinsidethetargetarestronglydependentonthelaserfluence;photomechanicaleffectsare themainablationmechanism,andablationdepthincreaseswithfluence.Itishelpfultounderstandthemechanism ofinteractionbetwee