第2章 智能传感器系统中经典传感技术基础.pptVIP

1、 差值输出形式 如前面介绍过的振弦谐振式压力传感器的差动结构。 与理论线性度相比，非线性误差减小 ，灵敏度提高一倍。 2、 差与和之比值为输出形式 变间隙式电容变换器存在有严重的非线性： ， 1）差值输出 理论线性度： ，（ ）； 灵敏度： ， （ ） ； 另外消除了零点值的项。 2）差与和之比值： ，非线性误差为零。 3）电路实现形式（如右图） 与 之间是理想的线性关系。 3、 输出形式 仍以差动电容为例，定义： ，则： ，通过 公式变换，略去高阶项： 线性度： ， 与差值输出一样； 灵敏度： ，与差值输出比提高2倍，比单个输出提高4倍。 4、 电桥电路 电桥电路是集成式传感器一种重要的输出电路形式，对于压阻式电阻 变换器，它是基本的配接电路。 1）电桥的连接方式： 2）恒流源与恒压源作为供电电源的差别 a）电压源： ，灵敏度： ； 单臂桥： ， ； 线性度： 。 半桥： ， ； 全桥： ， 。 b）电流源： 单臂桥： ， 线性度： 。 差动半桥： ， 全 桥： ， 恒流源供电时，单臂电桥的非线性误差是电压源供电时的1/2。 3）电桥对共模干扰量的补偿特性 书中有比较详细的公式推导及结果，这里不作说明，但要了解单臂、差动半桥、差动全桥以及电压源与电流源供电时的差别。 a）电桥对同符号的共模干扰量 ，具有补偿作用。 b）恒流源供电的差动全桥，理论上无温度误差。 c）实际电路在制作过程中不可能保证特性完全一致，因而仍存在零 位输出、零位漂移以及灵敏度温度误差，需要采用进一步的补偿措施。 ii）光电效应：入射光在两种半导体的结合处激发起电子－空穴对， 电子与空穴分别向相反的方向移动，从而产生感应电势。P－N结、光敏二 极管 、三极管、CCD等。 b）外光电效应：入射光被物质的表面所吸收，并从表面向外部释放 电子，又称光电发射效应，如光电管、光电倍增管。 2)、 MOS结构的非稳定性 当足够数目的电子汇集在表面 时，达到饱和状态，此时离开表面 的扩散电流和流向表面的漂移电流 达到动态平衡，达到饱和状态所需 要的时间称为热驰豫时间，室温下 为1秒到几秒，信号电荷的存贮时间 要远小于热驰豫时间。 3）、电荷传输的简单模型 4）、转移效率 CCD是一种动态模拟移位寄存器，信号电荷的转移效率最重要，设从 一个电极转移到下一个电极的转移效率为： 。 对应的 称为失效率， 。转移N个电极后电荷量 为 ，则： ，一般要求 。 表面沟道电荷耦合器件（SCCD）与埋沟道电荷耦合器件（BCCD）的区 别： BCCD的优点：传输效率达到99.99％，传输速度提高； 缺点：工艺复杂，结电容小，电荷存贮能力下降。 在P型衬底上外延或扩散薄n层，形成P－N结，当在P－N结上加反向偏 压时，在P－N结区便形成了耗尽层。 5）、线阵CCD 6）、面阵CCD： a）行间传输结构 b