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第3章 不同集成度智能传感器系统举例 3.1 传感器集成化与智能化的概述 3.1.1 传感器的集成化 3.1.1 传感器的集成化 二、集成化的优点 3.1.2 不同集成度智能传感器概述 一、智能传感器的初级形式 一、采用传感器阵列形式的智能气体传感器 整个变送器的测压原理为：待测压力首先作用在传感芯片的硅膜片上，引起传感器电阻值的相应变化，此阻值的变化由形成于传感器芯片上的惠斯登电桥检出，桥路输出信号经调理电路进行调理，并由A/D转换器转换成数字信号，送入微处理器。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 与此同时，在此传感芯片上形成的两个辅助传感器(温度传感器和静压传感器)检测出表体温度和过程静压。辅助传感器的输出也被转换成数字信号并送至微处理器。在微处理器内，来自三个传感器的数字信号进行运算处理，转换成一个对应的4～20 mA的模拟输出信号或数字输出信号。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 变送器的传感芯片由差压(DP)、静压(P)和温度(T)三个传感器组成。其中，差压传感器和静压传感器均接成惠斯登电桥的形式。传感芯片的电路如图所示。在差压、静压和温度这三个参数的共同作用下，每个传感器的输出都是三个参数的函数 。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 设UDP、UP、UT 分别表示三个传感器的输出，即有 由以上三式可解出待测压力 上式表明，要准确地测量压差，必须考虑静压和温度的影响。以上由三个传感器信号计算待测压力的过程，是在微处理器中通过软件程序进行的。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 在ST—3000变送器的制作过程中，对每一台变送器的待测压力特征数据、环境温度特征数据以及静压特征数据，都要事先存储在PROM中。这些特征数据是由生产线的计算机采集的，尔后送入存储器储存。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 二、ST—3000智能变送器的性能特点 三、ST—3000智能变送器的制作工艺流程 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 SFC的功能如下 (1)组态。可以选择设置操作参数。这些参数包括变送器的标号、量程、输出形式、阻尼时间以及工程单位等。其中量程的设置通过设置上下限来完成。变送器的输出有线性输出和平方根输出两种形式。变送器有10种不同的压力工程单位(也可设计自己的工程单位编入SFC中)。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 四、SFC智能现场通信器功能介绍 (2)诊断。可以对组态、通信、变送器或过程中出现的问题进行诊断。 (3)校验。可以校验ST—3000变送器的输出或整定零点。 (4)显示。可以显示变送器和SFC存储器中的有关信息，如当前输入、输出以及其他有关参数等。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 (5)把变送器置于输出模式。通过SFC可令变送器输出一个4～20 mA的电流信号，用此信号可以进行输出校准、 故障处理以及回路校验。 (6)远距离调节。只要连接好SFC，操作人员在控制室就可以读取变送器的数据、设定变送器的量程、处理故障、观察诊断结果。 3.3.1 美国霍尼韦尔ST-3000系列智能变送器 一、系统设置 整个系统的电路结构框图如图所示。主要包括 ①压阻式桥路压力传感器。四个压敏电阻为浓度为1017的硼掺杂电阻，位于硅应变膜(大小为1000 mm2)的边缘。 3.3.2 具有微处理器的单片集成压力传感器 3.3.2 具有微处理器的单片集成压力传感器 ②传感器调理电路。其放大倍数可通过可变电阻RG调节，传感器的零点可通过可变电阻R0调节，而RG和R0均由MCU的程序控制调节。这样，通过调节R0和RG，可以把压力传感器的输出信号调理至A/D转换器的最佳转换范围内，保证其有效地工作。 3.3.2 具有微处理器的单片集成压力传感器 ③温度传感器。主要产生用于传感器输出校准的温度信号，它由四个N阱区NPN型晶体管级联而成。温度传感器要尽量靠近压敏电阻全桥，以准确感受工作环境温度的变化。 3.3.2 具有微处理器的单片集成压力传感器 ④电源。带隙恒压供电电源为压力传感器、调理放大电路及A/D转换器提供恒压电源，而带隙恒流源则为温度传感器提供恒流电源。 3.3.2 具有微处理器的单片集成压力传感器 二、传感器制作工艺 3.3.2 具有微处理器的单片集成压力传感器 三、校准及补偿方法 1、校准及补偿的数学模型 传感器芯片中的微处理器MCU完成对传感器输出信