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3e0
method；ratiofunction；thermal
Keywords：Microstructure；the
thermal
microscope．
目录
摘要……………………………………………………………………………………………………………………………i
Abstract……………………………………………………………………………………………………………………．ii
目录…………………………………………………………………………………………………………………………．i、，
第一章绪论…………………………………………………………………………………1
1．1课题研究背景、目的及意义………………………………………………………1
1．2研究现状……………………………………………………………………………l
1．3微尺度热学简介……………………………………………………………………．2
1．4频域分析简介………………………………………………………………………3
1．5主要方法……………………………………………………………………………4
1．6 360法测量微尺度薄膜的热导率…………………………………………………．4
1．7本文的研究目的和主要内容……………………………………………………．10 。
1．7．1研究目的…………………………………………………………………．．10
O
1．7．2主要内容…………………………………………………………………～1
第二章309膜法热阻抗的比值函数修正…………………………………………………11
2．1 比值函数修正……………………………………………………………………．11 ·
2．2 比值函数数学模型…………………………………………………………………14
2．2．1 一维多层形式……………………………………………………………一14
2．2．2二维薄膜．基底系统………………………………………………………．17
2．2．3无量纲分析…………………………………………………………………19
2．3计算结果…………………………………………………………………………．21
2．3．1 一维比值函数图……………………………………………………………2l
2．3．2二维比值函数图……………………………………………………………23
2．4讨论…………………………………………………………………………………………………………．28
第三章 多层薄膜结构热阻抗蓝图………………………………………………………．．30
3．1 引言…………………………………………………………………………………………………………．30
3．2 30J法测量多层薄膜结构的热阻抗………………………………………………30
3-3多层薄膜系统的热阻抗蓝图……………………………………………………。33
3．3．1硅．锗．蓝宝石多层薄膜结构的热阻抗蓝图………………………………33
iv
3．3．2金刚石．碳纳米管．硅多层薄膜结构的热阻抗蓝图………………………37
3．4结论…………………………………………………………………………………………………………．43
第四章AC—SThM探针温度和输出电压的计算…………………………………………44
4．1 引言…………………………………………………………………………………………………………．44
4．2探针局部温度计算………………………………………………………………．45
4．2．1 探针温度数学模型………………………………………………………．．47
4．2．3 数值结果……………………………………………………………………52
4．3输出信号模拟……………………………………………………
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