集成电路技术讲座.pptVIP

集成电路技术讲座第十三讲;集成电路可靠性;（一）可靠性概念和表征方法;可靠性概念和表征方法;可靠性概念和表征方法;与失效速率有关的函数;失效函数的描述;塑封器件现场统计失效率例(FIT);器件失效对系统性能的影响 ;（二）失效规律－浴盆曲线;浴盆曲线;早期失效期;有用寿命期（随机失效期）;耗损失效期;（三）硅片级可靠性设计和测试;硅片级可靠性（工艺可靠性）; 可靠性设计;可靠性设计－电路设计时的考虑;可靠性设计－器件和版图结构设计时的考虑;可靠性设计－工艺设计时的考虑;硅片级可靠性测试;TDDB;TDDB测试;TDDB;TDDB;电迁移现象;电迁移测试;热电子效应;热电子效应测试;（四）老化和可靠性试验;老化筛选 (Burn in);老化筛选(例）;可靠性试试验 (1);可靠性试试验(2);加速测试(1);加速因子;加速因子;加速因子（例）;可靠性试验种类;高温工作寿命（HTOL);高温反偏试验 (HRB);高温反偏试验数据例;温度循环（T/C）;高压蒸煮（PCT/Autoclave）;高温高湿电加速（THB/HAST）;常用可靠性试验汇总表 (1);常用可靠性试验汇总表 (2);常用可靠性试验汇总表 (3);常用可靠性试验汇总表 (4);常用可靠性试验汇总表 (5);（五）失效模式和失效分析;Distribution of failure in commercial IC ;失效模式;失效模式－芯片工艺引起的失效;失效模式－封装工艺引起的失效;失效分析流程;失效分析流程（续）;失效分析流程（续）;失效分析技术／工具;失效分析技术／工具;X射线成像术;声扫描显微镜成像原理(1);A-Scans are the raw ultrasonic data. An A-Scan is a graph of Voltage (electrical response) over a period of time. The time-scale is displayed horizontally and has units in millionths of a second (micro-seconds). Percent Full Screen Height (%FSH) units are used instead of voltage. The Digital Oscilloscope displays A-Scans in the Sonix software. Initial Pulse - Occurs when pulser discharges and transducer oscillates. Time = 0Sec ;失效机理分析;失效分析－机械原因;容易开裂的部位;金属疲劳引起的断裂;失效分析－热的原因;失效分析－电的原因;失效分析－辐射原因;失效分析－化学原因;开裂产生及延伸;钝化层开裂;界面分层;Cross-sectional view using TOF and amplitude data. Allows you to see: Voids Die Tilt Package Cracks;ball lift-off;化学锈蚀;化学锈蚀（例）;ESD失效（例）