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2008 義守大學校友回娘家—能源與科技論壇暨研討會,高雄
Renewable Energy Technology Education of I-Shou
May 24
單軸式壓電薄膜微加速度計之設計與分析
杜聰敏 李炯達
義守大學 機械與自動化工程學系
摘要
微機電系統(MEMS)在近年來已成為最熱門的研究之一,然而微加速度計之感測方式有壓電、壓阻、電容、穿遂式等。其中壓電材料具有機電能互換的能力,本文使用的壓電材料為鋯鈦酸鉛(PbZrxTi1-xO3,PZT),由於具有高機電耦合係數,能量密度高、動作反應快、對環境敏感度低等優點,已廣泛地應用在微感測器中。本文係利用PZT之壓電效應來感測單一軸向之加速度大小,當振動質塊受到加速度衝擊作用時,造成壓電薄膜彎曲變形,並輸出ㄧ電壓訊號,藉此量測敏感度。同時採用有限元素分析軟體ANSYS作為驗證工具,其模擬之結果與理論推導極為相近。
關鍵字:微機電、加速度計、PZT
模型設計
本模型由一厚度30um之矽薄膜與厚490um之中央質塊組成,。於Z方向施以加速度作用,質塊受慣性力作用而上下移動,造成薄膜及其上之PZT變形,產生應力與應變;接著將PZT之應力轉換為電荷訊號,量測其敏感度。材料參數之設定請參閱表一。
製程規劃
電極材料有Ti、Pt及LSMO,製作流程如圖一所示。
1. 首先利用濺鍍法鍍上Ti、Pt,接著利用掀去法完成所需電極圖形
2. 鍍上LSMO,利用硝酸蝕刻電極圖形,完成下電極製作
3. 利用Sol-Gel法鍍上PZT,採BOE蝕刻出PZT之圖形
4. 接著鍍上LSMO,運用光阻為影出上電極之圖形後,將Ti/Pt鍍上,利用掀去法完成金屬
電極,完成的Ti/Pt做為阻擋層,用硝酸蝕刻LSMO之圖形,完成上電極製作
5. 最後以KOH蝕刻背面之振動質塊,即完成微加速度計之製作
此外,KOH蝕刻島狀質塊時會產生底切現象,因此設計之光罩需考慮角落補償。
有限元素分析
運用套裝軟體ANSYS 10.0建立所需模型並分析結果。尺寸及應力分布請參閱圖二及圖三。由於此模型為對稱結構,因此僅需建立1/4模型將步驟簡化並進行模擬分析。未來也將設計具有更高敏感度與多軸式之微加速度計。
材料
楊氏係數
()
密度
()
蒲松比
Si
2330
0.0625
PZT
7550
0.3
Pt
2145
0.39
表一 材料參數表
圖一 製作流程
(圖片來源:高雄第一科技大學 余志成 博士)
圖二 尺寸示意圖 圖三 應力分布圖
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