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节瘤缺陷平坦化提高高反射膜的激光损伤阈值-强激光与粒子束.PDF

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    第卷第期强激光与粒子束年月节瘤缺陷平坦化提高高反射膜的激光损伤阈值谢凌云何涛张锦龙焦宏飞马彬王占山程鑫彬同济大学先进微结构材料教育部重点实验室上海同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所上海摘要探究了节瘤缺陷平坦化技术中平坦化层刻蚀层厚度和种子源尺寸之间的刻蚀规律同时解释了平坦化技术提高节瘤缺陷的损伤阈值的机制在双离子束溅射系统中使用微球模拟真实的种子源置于基板上镀制高反膜制备人工节瘤缺陷对类似于实际种子源的微球一系列不同刻蚀程度的实验得出了节瘤缺陷平坦化技术的刻蚀规律只要平坦化层刻蚀层

    第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 30 9 Vol.30 No.9 年 月 , 2018 9 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Se

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