离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件.PDF

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2019-02-25 发布于天津
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第卷第期光子学报 47 12 Vol.47No.12 年月 2018 12 ACTAPHOTONICASINICA December2018 : / doi10.3788 zx1214003 g 离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件 , 1 1 12 1 , , , 于磊杨双宁刘学青李德辉 ( , ) 1吉林大学集成光电子学国家重点实验室长春 130012 ( , ) 2清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京 100084 : , 摘要为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题提出了离子束刻蚀与飞秒激光复 , 合加工技术利用飞秒激光加工技术在碳化硅表面制备微纳结构图形然后通过离子束刻蚀技术对碳化 . , , 硅微纳结构进行刻蚀以调控结构的线宽和深度使结构表面粗糙度由约降低到研究 106nm 11.8nm. , 表明利用该技术制备的碳化硅菲涅尔波带片展现出良好的聚焦和成像效果. : ; ; ; ; 关键词超快激光半导体加工技术离子束刻蚀碳化硅微光学元件中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TN249 A 1004-4213201812-1214003-6 IonBeamEtchin AssistedFemtosecondLaserMachinin toManufacture g g SiliconCarbideMicro-oticalCom onents p p , 1 1 12 1 , , , YULei YANGShuan-nin LIUXue-in LIDe-hui