介质加载谐振腔的理论分析及其在微波介电测试中的应用研究-微电子学与固体电子学专业论文.docx

华中科技大学博士学位论文摘要 华中科技大学博士学位论文 摘要 移动通信的超常规发展，对微波元器件的高品质、低成本和小型化提出了更高的 要求。尽管半导体技术的高速发展以及MIC／MMIC的大规模使用，已经大幅度降低 了微波有源器件的尺寸，但是像高性能窄带滤波器等这类需要高品质因数谐振器的微 波无源器件的小型化进程非常缓慢，在性能要求不高的情况下，只能采用品质因数不 高的微带谐振器来代替体积庞大的谐振腔。微波介质陶瓷的诞生为微波电路中无源器 件的小型化提供了一条非常经济高效的途径。然而，我国的微波介质器件，无论是研 发还是生产，与发达国家均有很大差距，市场上很难见到拥有自主知识产权的相关产 品，国内从事这方面工作的单位太少。究其原因，其中之一就是微波介电测试由于其 高成本、低效率以及高难度，严重阻碍了新型微波介质陶瓷的开发。 本文以教育部科学技术研究重大项目：高占．微波介质陶瓷及器件的研制(合同 号：重大0206)为依托，在采用径向模式匹配法对非均匀介质加载圆柱形谐振腔进 行理论分析的基础上，系统地研究了微波陶瓷的介电测试技术，提出了一种测量中低 占，微波介质陶瓷的方法，开发了一套针对高占，微波介质陶瓷的测试系统。 首先，采用赫兹矢量法分析了介质加载谐振腔中径向波导本征模的场分布，同时 利用Stunn-Lowville本征值的理论讨论了本征模横向矢量场的正交完备性，并在此基 础上利用边界条件获得了两层和三层介质径向波导中本征模的轴向本征函数和相应的 本征方程。通过对本征方程的分析，获得了准确快速求解本征方程的算法。 其次，运用径向模式匹配技术建立了介质加载圆柱形谐振腔的本征方程，探讨了 求解本征方程时避免伪解产生的算法。特征矩阵元素的表达式中含有分母，以及波导 本征值存在零点，均会导致伪解的产生，前者产生的伪解可以通过正确书写本征函数 和尽可能减少除法运算来避免，而后者产生的伪解，必须通过判断在由逐步扫描法事 先确定的每一个有解区间内，本征值平方值的符号是否发生变化来区分。利用已得到 的电磁场分布，推导了空载品质因数的解析式。 对非均匀介质加载圆柱形谐振腔的系列分析表明，当空气隙的高度大于样品高度 的2．5倍时，TEol模的谐振频率和空载品质因数受到顶扳的影响很小，当金属腔的半 径大于样品半径的3倍时，TEol模的谐振频率和品质因数受到侧壁的影响也很小，而 TMol模和HEMlI模没有类似规律。底板损耗是导体损耗的主要来源．增加基片厚度 尽管能提高系统的几何鼠子，但是侧壁几何因子的大幅度下降使系统的几何因子较 华中科技大学博士学位论文小，而基片的电能填充因子却较高，这并不利于中低r，介质陶瓷taw5的精确测试。 华中科技大学博士学位论文 小，而基片的电能填充因子却较高，这并不利于中低r，介质陶瓷taw5的精确测试。 然后，通过对介质柱谐振器中的本征模式进行分析，得到了用介质柱谐振法测量 高s，介质陶瓷时待测试样的尺寸要求。讨论了介质柱谐振器中轴对称模TEOJ，l，的场分 布，获得了采用介质柱谐振法的测量原理。提出了能高精度测量中低s，微波介质陶 瓷的TEoI(TE。)模谐振系统，利用RMM技术讨论了其测试原理，同时探讨了其结 构及实施方法。 最后，开发了一套介质柱谐振系统。通过对TE吲模特征函数的图像进行分析， 获得了精确求解正反问题的通用算法。利用传输型谐振系统的集中参数等效电路，得 到了空载品质因数的测量方法：在谐振系统与外电路进行不对称耦合时应采用反射损 耗法来测量空载品质因数，但是弱耦合会大幅度降低反射损耗的信噪比；而在谐振系 统与外电路进行对称弱耦合时，可采用插入损耗法来测量空载品质因数。 提出了一种测量金属板表面电阻的双模法。它首先根据由TE0l】模的谐振频率计 算得到的s．来计算一系列TE模的谐振频率，然后选取谐振频率相近的两个模式，利 用事先计算得到的谐振频率识别这两个模，并分析这两个模的谐振特性，最后根据微 波频率下，微波陶瓷介电损耗和金属板表面电阻的特性，就可以得到表面电阻和介电 损耗。 测试装置由两块铜板和耦合机构以及相应的调节部分组成。铜板直径 D=80mm，与样品接触一侧的表面抛光，并镀上一层厚为10u 113．的银，以减小传导 损耗，两块铜板分别与两个微调螺旋固定，能够进行上下调节。两个N型插座作为 输入和输出耦合机构，插座内外导体的直径分别为O．5mm和2．79mm，表面镀金，内 导体前端带有直径为1．0mm的小环。两个插座均能相对于样品进行三维调节，这不 仅有利于谐振模式的激励和检测，弱耦合条件更容易满足，有效减小插入损耗法测量 空载品质因数的误差，也使试样的放置并不严格要求与金属板完全对中。软件能够根 据试样尺寸及TE01l模的谐振频率计算试样的介电常数：能够根据试样尺寸及介电常 数计算TE模的谐