基于MEMS技术的压电微喷的研制-物理电子学专业论文.docxVIP

中 中 文 摘 要 微喷是微流量控制系统中重要的执行器件，它可喷射多种介质(墨、 聚合物、固体等)，能够实现DNA微细排列、微量药品精确供给、微推 进以及喷墨打印等多种功能，在医药、生物、化学领域有着广阔的应用前 景，是MEMS技术最典型的应用之一。 本论文建立了剪式微喷的结构理论模型，分析了在动态电压作用下端 部的变形；利用有限元分析方法优化设计了微喷的结构几何参数，模拟其 振动模态：研制出可双向快速充、放电的微喷专用驱动电源，能够并行驱 动微喷阵列；对工作在纯剪切模式的微喷结构进行改进，引入了机械增益， 大大提高了微喷的驱动能力。 本论文完成了亚纳升级剪式压电微喷的研制以及性能测试，探索最佳 结构、最佳工艺流程和最优工艺参数，提高稳定性和成品率。研究驱动方 法，开发驱动电源，为国内压电微喷的实用化打下了坚实的基础。本论文 研制的微喷，单次喷射体积在亚纳升量级，可连续喷射；喷射液滴体积和 数量可由驱动脉冲控制；集成性能良好，可制成一维微喷阵列。 提出了三种结构的微喷，电场方向是垂直于极化方向加载的。当驱动 电压为50V时，单次喷射液滴体积约为0．1纳升，最大喷射距离为30rnm。 研制出微喷专用驱动电源，申请了专利。该电源具有以下特点：可以进行 正、反双方向充电，使致动壁能做正、反两个方向的运动；能够进行双向快速放 电，频率响应范围宽；输出电压高，非线性失真小：输出阻抗很小，电流负载能 力大，响应速度快；控制信号的频率和脉宽可调；各部件驱动信号之间的时序关 系可通过计算机编程控制。 关键词：MEMS，微喷，压电，剪式，阵列 AbstractAs Abstract As important actuator in the micro fluidic system，the micro jet could eject many kinds of substances(ink，polymer，solid)．It could realize DNA microarray，minim reagent supply，micro propulsion and ink jet printing． The devices have a wonderful application future in the medical，biologJical and chemical fields． The theoretical model of shear mode micro jet is established and the edge displacement under dynamic driving voltage is analyzed．The geometrical parameters of the micro jet are optimized by finite element analysis and the modal of vibration is simulated．A special driving power， which can drive micro jet array，is developed and the speed of charge discharge is very fast．The structure of the micro jet，which works in the pure shear mode，is improved upon by introducing mechanical plus and consequently the driving ability is heightened． The sub-nano litre level shear mode piezoelectric micro jet is developed and tested．The optimal structure，process flow，technical parameters are explored and the stability as well as the rate of finished product are improved The driving method is also studied and we lay good foundation of the application of piezoelectric micro jet interiorly．The droplet produced by the micro jet is sub—nano titre in votume and the micro jet渤e扣ct droplets in series．The volu