基于MWCNTs和RGO的电阻式气体传感器的基础研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 摘要 摘 要 碳纳米材料由于独特的电学、光学和机械性能，使得他们成为下一代小型化、 低功耗、大众化传感器的选择。尤其是在气体感应方面，一些低维的碳纳米材料 如碳纳米管、石墨烯，由于大多碳原子裸露在环境中，因此有着很高的比表面积， 易于达到高灵敏度；且有着完整的晶格、高载流子迁移率和低噪声，可通过运用 不同的技术来产生缺陷或者是接枝官能团在碳纳米材料表面以获得更好的灵敏度 和选择性；除此之外，他们的机械性质使得他们可集成在柔性电子器件中。众所 周知，环境中化学成分的电子信号传导（如电阻变化）相比于其他传导方法，成 本低、器件制备更加简单、样品生产量更大且更加便于携带。 本文基于平面叉指电极电阻式器件，制备了以碳纳米材料 MWCNTs（多壁碳 纳米管，Multi-walled Carbon Nanotubes）和 RGO（还原的氧化石墨烯，Reduced Graphene Oxide）作为敏感材料的气体传感器，对其气敏性能进行了系统的分析研 究，同时结合各种分析手段对其气敏机理进行了深入的探讨。主要内容包括以下 几个方面： 1. 以 RGO 为单一气敏材料，提出了一种新型的混合响应机理，包括电子-空 穴交换理论和层间距离变化理论的共同作用，丰富了基于石墨烯的气体传感器的 传导机制。文中首先在叉指电极上喷涂沉积不同量的 RGO 敏感薄膜，研究了气体 传感器的初始电阻值、气体响应和气体流量之间的关系。当氮气或干燥空气的气 体流量增加时，RGO 薄膜表面会被施加上压力，这会减小 RGO 的片间间距，进 而减小器件的初始电阻值，反之亦然。在测试 CO2（Carbon Dioxide）气体时，器 件的响应会随着待测气体总流量的增加而增加，这是因为在大气体流量时，更多 的 CO2 气体分子渗透到 RGO 薄膜下层，并被吸附位吸附。更大的电阻值变化和更 小的初始电阻值使得器件的响应更大。同时实验结果还显示，对于沉积 RGO 量多 的器件，不论接触氧化性的 NO2 （Nitrogen Dioxide）气体还是还原性的 H2S （Hydrogen Sulfide）气体，电阻值均上升；而对于沉积 RGO 量少的器件，接触 NO2 气体时电阻下降，接触 H2S 气体时电阻上升。并由此提出了一种的新敏感机 理，这种混合响应机理包括电子-空穴交换理论和层间距离变化理论。当吸附氧化 性或还原性的气体时，这两种机理同时发生。传感器的初始电阻值似乎决定了传 感器的主要响应机理，根据所有器件的气敏特性，RGO 薄膜的阈值电阻应该在 16.2 k?~46.4 k? 之间以区别哪种响应机理起主导作用，并决定 RGO 器件在接触测试气 I 摘要 体后的电阻值趋势变化。 2. 采用 ZnO（Zinc Oxide，常温下绝缘材料）多孔膜作为支撑材料，比较了 RGO-ZnO 薄膜和传统的单层 RGO 薄膜的气敏性能差异，并发现 RGO-ZnO 薄膜提 高了传感器的响应和灵敏度，减小了响应恢复时间，并减轻了薄膜厚度对传感器 气敏性能的限制。文中主要以二氧化碳气体作为室温测试对象，RGO 材料直接沉 积在 IDEs 上时，RGO 薄膜和 IDEs 之间有很少的间隙存在；当 ZnO 作为支撑材料 时，大多数 RGO 被 ZnO 薄膜支撑，只有小部分的 RGO 通过 ZnO 颗粒间的缝隙直 接和 IDEs（Interdigital Electrodes）相接触，且 ZnO 薄膜表面粗糙不平多孔； RGO-ZnO 薄膜结构中，RGO 层和 ZnO 层之间会存在很多缝隙，而且相比于单层 RGO 薄膜，分层膜的表面会更加粗糙。因此，当和同一浓度的测试气体接触时， RGO-ZnO 薄膜的接触面积更大，薄膜中的吸附位更多，和测试气体的接触更充分， 响应会更大，且响应恢复时间减小；传统的传感器响应会随着 RGO 薄膜厚度的增 加而趋于饱和，且响应恢复时间会逐渐增加。对于同一 RGO 含量的 RGO-ZnO 薄 膜结构，其相应的器件响应得到提升，且响应恢复时间几乎不受薄膜厚度的限制。 RGO-ZnO 薄膜结构也一定程度上减轻了薄膜厚度对传感器气敏特性的限制。 在叉指电极上喷涂沉积 RGO-PEI（聚乙烯亚胺，Polyethyleneimine）敏感 薄膜，并率先研究了其对 CO2 气体的敏感特性。实验结果发现，相比于复合膜器 件，分层膜结构的器件基线漂移更小，且响应曲线更加稳定，并对比研究了 RGO 和 RGO-PEI 分层膜结构对 CO2 气体的响应特性、长期稳定性、重复性、最低探测 浓度、响应恢复时间和不同载气下的响应差异，并具体分析了原因。结果发现， 相比于单层 RGO 薄膜，RGO-PEI 分层膜在测试 3667 ppm 的 CO2 气体时，重复性 更好，但由于