介质上电润湿原理及其应用.pdfVIP

介质上电润湿原理及其应用 摘 要：介绍了介质上电润湿的研究背景以及基本理论和基本的运动操控方式， 描述了 EWOD 在芯片实验室、微透镜、光纤、电子显示器等方面的原理及应用。 最后介绍了介质上电润湿所面对的困难和前景。 关键词：电润湿 微流体 表面张力 1 简介 电润湿是指通过调整施加在液体-固体电极之间的电势，来改变液体和固体之间的表面 张力，从而改变两者之间的接触角。早在 1875 年，法国科学家Lippmann观察到在汞和电 解液之间加电压，会出现的毛细下降现象；并提出了著名的Lippmann-Young方程。1993 年Berge在电润湿模型中引入了介电层，以尽量消除电解的发生，这被称为介质上电润湿 （electrowetting-on-dielectric，EWOD）（图 1）[1]。 图 1 介质上的电湿润(EWOD) 介质上电润湿是一种电控表面张力驱动方式。它通过在介质膜下面的微电极阵列上施加 电势来改变介质膜与表面液体的润湿特性。典型的EWOD器件通常采用三层结构（图 2 ）， 即受控液滴被夹在上、下两极板之间。下极板由衬底、微电极阵列、绝缘层以及疏水层构成。 疏水层可以保证液滴运动过程的平滑和稳定。上下极板之间的填充物质可以是空气或者是硅 油，硅油可以作为润滑剂，降低液滴的驱动阻尼，使驱动电压下降，而且可以减少液滴的蒸 发，但它可能会对液滴产生污染，从而一定程度上限制了它在生物化学等方面的应用。在 EWOD装置中，绝缘层材料也有多种选择，如表面覆盖Teflon 的SiO2 [2]、Teflon[3]。 图2 典型 EWOD 的三层结构 另一种EWOD装置采用共面电极设计，正负电极全部做在下极板[4]~[7]。如图3 所示， 这种共面电极装置无需上极板；并且可以加工在PCB电路板上，同时可集成高密度电极 [5][8]。 图3 (a)单层共面微电极阵列[9]. (b)PCB上的EWOD 电极板剖面[10] 2 基本原理 如图4(a)所示，初始情况下忽略重力的影响，液滴在疏水介质层表面的三相接触角θ 可 0 以由Young 氏方程表示为： cosθ =(γ - γ ) ／γ 0 sg sl 1g 其中γ 、γ 和γ 分别是疏水固体/空气、疏水固体/液滴以及液滴/空气之间的表面张力。一 sg sl 1g 般来讲，离散液滴在疏水表面的三相接触角都大于90º 。当在电极和液滴之间施加电势V后， 疏水固体/液滴之间的表面张力变小，其关系由Lippmann方程描述为： γ = γ –ε ε v2 ／2d s1v sl 0 r 其中, γ 、γ 分别是外加电势前、后的疏水固体/液滴之间的表面张力， ε 、ε 分别是真空 s1 s1v 0 r 的介电常数和介质层的有效介电常，d是疏水介质层有效厚度。由于疏水固体/液滴表面张力 变小，导致疏水表面的液滴三相接触角变小，见图4(b) 。外加电势后的三相接触角θv 可以由 上面两方程推导而成，即由Lippmann -Young方程表示为 cosθ =cosθ +ε ε v2 ／2d·γ v 0 0 r 1g 图4 介质上电润湿系统示意图 由Lippmann-Young方程可以看出,液滴的三相接触角随外加电势v 的绝对值增大而变小, 而且它与介质层的厚度、介电常数都有关。