6-4激光在精密测量中的应用-激光准直及多自由度测量.pptVIP

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2019-05-08 发布于江苏
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6-4激光在精密测量中的应用-激光准直及多自由度测量

上一页回首页下一页回末页回目录第六章激光在精密测量中的应用 §6.4 激光准直及多自由度测量 * §1.7 光的相干性第一章辐射理论概要上一页回首页下一页回末页第一章回目录 6.4.1 激光准直仪 1. 激光准直仪的原理和结构激光束横截面上的光强分布是“高斯分布”，光束的能量大部分集中在有效半径为的截面内。由于中心光强最大，所以光束分布中心连线可以构成一条理想的准直基准线。 TEM00光束远场发散角2?的公式为：为了便于控制和提高对准精度，一般的激光准直仪都采用光电探测器来对准，因此准直仪的基本组成有如下几个部分（图6-21）图6-21 激光准直仪的基本组成方框图 6.4.1 激光准直仪 2. 发射光学系统激光准直仪的发射光学系统是一个倒置的望远镜，其结构如图（6-22）所示如果，分别为高斯光束入射和出射该望远系统的光束发散角的话，令该望远系统对高斯光束的发散角压缩比为，则有图6-22 激光准直仪光学系统结构示意图根据圆孔的夫琅和费衍射理论可知,一个直径为D的圆孔所造成的衍射角(即光束发散角的一半)为 6.4.1 激光准直仪 3. 光电目标靶激光准直仪的光电目标靶通常用的是四象限光探测器，如图6-23所示图6-24是激光准直仪测量机床导轨不直度的示意图。图6-23 四象限光电探测器原理图 4. 激光准直测量的应用举例：不直度的测量图6-24 机床导轨不直度的激光准直测量原理示意图 6.4.2 激光衍射准直仪 1.利用激光的单色性，让激光束通过一定图案的波带片，产生便于对准的衍射图像，从而提高精度。这种利用衍射原理的激光准直仪叫激光衍射准直仪。它的原理结构如图6-25所示。图6-25 激光衍射准直仪的原理结构图 2.波带片是一块具有一定遮光图案的平玻璃片（图6-26）图6-26 波带片示意图 6.4.3 激光多自由度测量 1.四自由度测量系统 2. 五自由度和六自由度测量系统中心孔式:图6-27(a)所示；分光式:图6-27(b)所示；反射式:图6-27(c)所示图6-27 四自由度测量系统的典型结构五自由度和六自由度的测量，目前主要有两种方式美国密西根大学研究了一种光学测量系统，可同时测量机床五维几何误差。如图6-28所示图6-28 波带片示意图 * *