反应等离子喷涂TiN涂层的研究进展-表面技术.PDF

第44卷摇 第8期 摇 摇 摇 表面技术 摇 摇 2015年08月 SURFACE TECHNOLOGY ·1· 試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試 摇 膜层技术 反应等离子喷涂TiN涂层的研究进展 夏铭,王泽华,柏芳,周泽华,胡亚群,盛欢,张欣 (河海大学 力学与材料学院,南京210098) 摘摇 要:TiN具有硬度高、韧性好、摩擦系数小、化学性能稳定等优点,广泛应用于刀具、装饰、表面防护等 领域。 目前制备TiN涂层的方法有很多,如气相沉积、热喷涂、电镀等,反应等离子喷涂则是最常用的金 属鄄陶瓷复合涂层制备方法。 概述了反应等离子喷涂技术的基本原理和分类,包括反应等离子喷涂涂层 的形成过程及工艺的优缺点。 综述了反应等离子喷涂TiN涂层的喷涂工艺及性能的研究进展,包括涂层 的制备方法(原位合成法、烧结破碎法)和性能特点,重点分析了涂层的力学性能、耐磨损性能、耐腐蚀性 能,并提出了可以依靠热处理工艺或封孔技术来提高涂层的耐腐蚀性能。 依据实验和查阅的文献,反应 等离子喷涂结合了自蔓延高温合成技术和等离子喷涂技术,可以制备质量优良的厚 TiN 涂层(500 滋m),是一种新型的低成本涂层制备技术,但是反应等离子喷涂制备TiN 涂层存在孔隙率较高(5% ~ 10%)、结合强度较低(50 MPa)的问题。 分别从技术、设备、工艺、后处理四个方面总结了改善涂层质量 的相应措施,展望了今后的研究发展方向。 关键词:反应等离子喷涂;TiN涂层;原位合成;烧结破碎法;涂层性能 中图分类号:TG174.442摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 文章编号:1001鄄3660(2015)08鄄0001鄄08 DOI:10.16490/ j.cnki.issn.1001鄄3660.2015.08.001 Research Progress of Reactive Plasma Sprayed TiN Coating XIA Ming,WANGZe鄄hua,BAI Fang,ZHOUZe鄄hua,HU Ya鄄qun,SHENGhuan,ZHANGXin (College of Mechanics and Materials,Hohai University,Nanjing210098,China) ABSTRACT:TiN has excellentpropertiessuchashighhardness,goodtoughness,lowfrictioncoefficient,chemicalstability,and has been used in cutting tools,decorations,surface protection. There are many methods to fabricate TiN coatings,such as vapor deposition,thermal spraying,electroplating,and reactive plasma spraying is a common way to prepare metal鄄ceramic composite coatings. The basic principles and types of reactive plasma spraying technology,including the process of coating,the advantages 收稿日期:2015鄄06鄄08;修订日期:2015鄄07鄄15 Received :2015鄄06鄄08;Revised:2015鄄07鄄15 基金项目:国家自然科学基金;江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXZZ13鄄02) Fund:Supported by the National Natural Science Foundation of China and Postgraduates Research and Innovatio