利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜-中国科技论文在线.PDFVIP

第26 卷 　第1期 计 　　　量 　　　学 　　　报 Vol. 26 , №1 2005 年 1 月 　 ACTA 　METROLOGICA 　SINICA 　 January 2005 利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜 郭　彤 , 　傅　星 , 　陈津平 , 　胡晓东 , 　胡小唐 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 , 天津 　300072) ( ) ( ) 摘要 : 利用纳米测量机 NMM 和原子力显微镜 AFM 实现了大范围的计量型 AFM ,测量范围可以达到 25 mm