基于惯性2摩擦驱动的球基微驱动器逆转现象分析-摩擦学学报.PDF

第 25 卷　第 5 期 摩 擦 学 学 报 25, 　 5 V o l N o 2005 年 9 月 TR IBOL O GY Sep , 2005 基于惯性摩擦驱动的球基微驱动器 逆转现象分析 孙立宁, 陈海初, 李满天, 齐毓霖 ( 哈尔滨工业大学 机电工程学院, 哈尔滨 黑龙江　15000 1) 摘要: 在压电陶瓷等效电学模型的基础上, 结合外加驱动信号波形分析了基于惯性摩擦驱动的球基微驱动器在工作 过程中金属球产生逆转现象的原因, 建立了金属球的转速及位移模型, 采用快速放电回路和加速压电陶瓷放电的方法 减小金属球的逆转位移及振动; 利用压电陶瓷管作为微驱动元件, 设计了基于惯性摩擦驱动的球基微驱动器, 并采用 不同频率的三角波信号对所设计微驱动器进行试验测试. 结果表明: 驱动信号频率越高, 微驱动器的振动现象越明显; ( ) 当驱动信号频率接近、等于或大于微驱动元件 压电陶瓷管 的固有放电周期时, 金属球出现无规律运动, 导致微驱动 器失效; 根据 1 H z 低频信号时的试验结果与计算所得结果基本吻合, 证明了所建立的逆转理论模型的合理性. 关键词: 微驱动器; 压电陶瓷管; 惯性摩擦驱动; 逆转 中图分类号: T P 242. 3; TH 117. 2 文献标识码: A 文章编号: (2005) 　　随着M EM S 技术和精密工程的不断发展, 对能 驱动信号波形, 从压电陶瓷材料充、放电固有时间出 够完成多种微操作任务, 具有高精度、高频响、大运动 发, 深入分析了惯性摩擦驱动过程中, 金属球产生逆 范围以及多个运动 自由度的微驱动器提出了更高的 转现象的原因, 建立了相应的理论模型, 并提出了减 ( ) 要求. 压电陶瓷 管 具有数十千赫的工作频率, 能实 小金属球逆转运动的方法. 现微纳米级的精密位移控制, 是一种广泛用于精密 1　惯性摩擦驱动原理及逆转现象分析 微驱动领域的功能材料. 在实际应用中, 压电陶瓷管 外侧表面被分割成 4 个电极, 内表面作为公共地 电 1. 1　惯性摩擦驱动原理 极. 当给压电陶瓷管外侧每个电极施加不同电压时, 惯性摩擦驱动原理如图 1 (a) 所示. 假设压电陶 能够实现压电陶瓷管向不同的方向弯曲, 进而能够实 　　　 现绕其轴线的弯曲扫描运动. 采用压电陶瓷管作为驱 动元件, 基于惯性摩擦驱动原理, 驱动金属球的球基 微驱动器结构不仅具有纳米级的转动定位精度、大的 转动行程, 而且能够实现金属球绕空间 、 、 轴转 X Y Z 动, 并且当金属球携带不同的微操作器后, 可以完成 对微小零部件,M EM S 元器件的各种微操作任务, 因 [ 1～ 3 ] 此成为当前微操作领域研究的热点 . 通常, 微驱 动器采用三角波信号电压来驱动, 并且在微驱动器工