投影电子束光刻中电子穿透掩膜的模拟！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 99 !! %% !! ， ， ， I*1 299 U* 2 !! U*V-W-0 %% （ ） !%%%=$;%Q%%Q99 !! Q9(%$=%8 4.R4 6ST3N.4 3NUN.4 !%% .K?, 2 6KPC 2 3*D 2 投影电子束光刻中电子穿透掩膜的!#$% ’() 模拟! ） ） ） ） ! # ! ! 肖 沛 张增明 孙 霞 丁泽军