CV量测基本要求.doc

CV量测基本要求 1.0 总纲 1.1 Fab2 CV 量测步骤 1.2 内容 文本记录外延生产过程中电阻率量测步骤，注意事项。 1.3 范围 本CV量测步骤，注意事项仅限于Fab2 1.4 参考资料 资料编号 资料名称 MES 使用 净化间纪律 6S SSM495CV SYSEM作业指导书 三级安全教育培训 2.0 设备 SSM495CV SSM490i 3.0 安全 3.1? 个人防护设备 ? 3.1.1?个人防护设备 ? STEP TASK 潜在危害 个人防护设备? 1 6.0 酸腐蚀 防HF级别手套 （暗红、黑色） 2 6.0 汞 带净化手套，用完换手套 3 6.0 酸灼伤 安全眼镜 3.2? 培训/上岗证? ?? 资料编号 资料名称 MES 使用 CV量测考核 净化间纪律 三级安全教育培训 ? 3.3? 紧急处理? ? 根据工作情况，找最近的安全设备 ? 洗眼器 冲淋器 灭火器 紧急电话及号码 逃生门及逃生路线 3.4 一般 EHS 伤害 伤害 可能性 ... 控制 ... 割伤 破碎的衬底 小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取 ? 3.5? 特殊液、气体伤害 化学品名称 ?特性 ?状态 ?伤害 IPA 易燃 液体 呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤 Ar 毒性 液体 呼吸剌激，眼睛伤害，剧毒 HF 酸性 液体 呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀 H2O2 易燃 液体 呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤 3.6? 化学品安全技术说明书(MSDS) 3.7 废弃物处置? ? 废弃物 处置 6% IPA 挥发性处置 化学品沾染手套 对应化学品收集桶 破碎衬底 交给质检人员 3.8 设备清洁? ? 用6% IPA 洁净布进行擦拭 4.0 测量前准备工作 4.1 交接班 任务 交接 产品有特殊要求的 看交接本 交接班遗留产品 书面交接 4.2 点检 交班后正常测试前，对1.13、7.0、18.70、62ohm.cm 四种点检片进行点检。点检不合格，立即通知CV工程师。 4.3 配液 配液名称 测试规范确认 备注 氢氟酸配液 H2O 350ml/ HF 50ml 每日早班按比例要求换液 戴好相应的防护措施 双氧水配液 H2O 450ml/ H2O2 150ml 每日早班按比例要求换液 戴好相应的防护措施 5.0 测量过程 5.1 测试规范确认 产品 测试规范确认 备注 样品 APQP 有疑点，通知班长—王盛—工艺 量产产品 U8 有疑点，通知班长—王盛—工艺 5.1.1 样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。 确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。 点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。 注意:特别是量测点位及距边宽度 如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。 5.1.2 量产产品是指生产安排内非黄色标示的。 打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表 按照(对应产品)来查询. PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找 查看规范. 6.0 测量过程 如果 (情况) ... 那么 (动作) ... 备注、结果 测试正常 确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求 输入MES时核对 操作员拿过来的CV片背面没有写清楚日期机台炉号等必要信息 退回给相关人员 不进行测试，直到测试片有明确信息 测试片表面无问题，测试不出 泡酸处理，然后O3处理，N2吹干，继续测试 ?注意测量手法，不能碰到探头 测量时不能使机器晃动 测试片表面有较多凹坑 换一片测试片 凹点多会导致漏汞 测试处有凹坑 单点测 凹坑过多，换一片测 测试片表面异常粘或者脏 用布擦 测试数据偏高或偏低 先拿前一炉片子复测，若不正常再进行点检 确认测试机台问题通知设备工程师 测量阻值小于1ohm.cm 先点检，后测试 阻值太小，测不准，建议用4PP测量 产品的面积、电压有特殊要求 面积有特殊要求的先点检好相对应的点检片，确认好要更改的面积 测试时漏汞 用吸汞笔立即把汞吸干净 立即通知设备人员 7.0 CV测试数据录入 如果 (情况) ... 那么 (动作) ... 备注、结果 正常测量完成后 输入MES 确保数据真实有效 MES CV量测未找到当前CV lot 号 督促机台操作人员完成上一步MES操作 ?CV操作员应当保证先系统后操作 报废片转测试片 MES中离线数据收集 正片转测试