基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析-机械电子工程专业论文.docxVIP

大连理工大学博士学位论文摘 大连理工大学博士学位论文 摘 要 微热板式气体传感器具有尺寸小、功耗低、易集成等优点，成为MEMS领域的一 个重要研究成果。可惜的是目前其选择性差、稳定性差的缺点，限制了该成果的实用化 和产业化。本文主要研究微热板式二氧化锡薄膜气体传感器的选择性改善方法，从传感 器的制造工艺、性能测试出发，在气敏机理、传感器阵列、温度调制等方面展开了系统 的研究，并将其用于一氧化碳和甲烷混合气体的检测和分析。 本文首先设计并组建了一套气体传感器性能标定和测试系统，制作了一批微热板式 气体传感器，并使用测试系统对传感器的性能进行了全面的研究。基于量子力学从头算 方法，以Sn02薄膜的材料表征结果为基础，模拟了CO、CH4和02等在SnOz薄膜表面 的物理化学吸附行为。结合半导体表面势垒和物理化学吸附的动态平衡理论，详细推导 并建立了Sn02膜气体传感器对CO和CH4混合气体的电学响应模型，在多参数优化的 基础上通过实验数据进行了验证。讨论了环境中02浓度对传感器灵敏度的影响。 以传感器的混合气体响应模型为基础，研究了利用气体传感器阵列技术提高选择性 的方法。讨论了基于线性稳态响应的混合气体盲分离条件，应用盲信号分离(BSS)模 型，结合实际测试数据，研究了非线性主成分分析法(N独CA)和独立成分分析法 (ICA)等盲分离算法对CO和CH4混合气体分析和量化的性能，并与常用的主成分分 析(PCA)技术进行对比，甲烷和CO的平均绝对误差分别降低了约200ppm和 7ppm。将BSS技术与BP神经网络相结合，能够有效提高混合气体浓度量化的精度。 本文还研究了在微热板温度按照一定规律变化条件下的传感器动态响应特性。提出 了差值预处理方法，该方法有效抑制了温度调制模式下微热板温度变化引起的强信号对 气体传感器动态信号的影响，提取了敏感薄膜表面气体动态吸附引起的气体响应信号。 将该技术与短时傅立叶变换(STFT)N结合，利用特征频率法研究了不同周期和温度控制 范围内的正弦波、矩形波、三角波和锯齿波等方式调制下的传感器对CO、CI-h和乙醇 三种气体的识别能力。为简化算法，同时提出了虚拟阵列法来检测和分析混合气体。 本文最后以煤矿中两种主要的易燃易爆气体CO和CH4的混合气体为检测对象，开 发了以单片机为控制和信号处理中心的实时气体检(监)测仪表，为制作单片集成式电 子鼻作了前瞻性的研究和铺垫。 关键词：微气体传感器；电子鼻；盲信号分离；混合气体分析；温度调制 大连理工大学博士学位论文Detection 大连理工大学博士学位论文 Detection and Analysis of Gas Mixtures Based on Micro—hotplate Gas Sensors The micm-holplate gas SerlSOrs have been art important achievement in MEMS field，due to their merits such as small size,low power and easy integration，However,their selectivity and stability ale still very low，which confines their utilization and induslrialization．This dissertaffon pays attention to the selectivity improvement methods ofthe血oxide based micro- holplate gas sensors．Starting from the fabrication and characterization technology of the gas sensors，systematical studies have been performed on the gas sensiIlg mechanism，gas sensor array and temperature modulation techniques．as well as their applications into the detection and analysis ofthe carbon monoxide and methane gas mixtures． An automated gas sensor characterization and measurement system is firstly designed and constructed．A batch of micro—hotplate gas sensors are f