基于人工磁导体技术的60GHz片上天线研究-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Dissertation Submitted to Hangzhou Dianzi University for the Degree of Master Investigation on 60GHz On-Chip Antenna based on Artificial Magnetic Conductor Candidate: Huang Haotian Supervisor: Professor Luo Guoqing December，2015 杭州电子科技大学 学位论文原创性声明和使用授权说明 原创性声明 本人郑重声明： 所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取 得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰 写过的作品或成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标 明。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。 论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文使用授权说明 本人完全了解杭州电子科技大学关于保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻 读学位期间论文工作的知识产权单位属杭州电子科技大学。本人保证毕业离校后，发表论 文或使用论文工作成果时署名单位仍然为杭州电子科技大学。学校有权保留送交论文的复 印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、 缩印或其它复制手段保存论文。（保密论文在解密后遵守此规定） 论文作者签名： 日期： 年 月 日 指导教师签名： 日期： 年 月 日 杭州 杭州电子科技大学硕士学位论文 摘 要 在当前无线通信频谱资源越来越紧张、数据传输速率越来越高的必然趋势下，60GHz 频 段无线短距离通信技术引起人们的热切关注，并随之成为未来无线通信技术中最具潜力的技 术之一。当前无线通信技术的发展迅速必然离不开广大学者对片上集成天线的深入研究和半 导体工艺的进步。人们对于无线通信设备总是希望其尺寸更小、价格更低以及性能更好，这 也一直是片上集成天线的发展方向。CMOS 工艺成本低，适合于大规模生产，基于 CMOS 工 艺的片上集成天线在无线通信技术中得到了广泛应用。但是 CMOS 工艺中硅基底的高介电常 数和低电阻率在很大程度上损耗了天线的电磁能量，阻碍其性能提高。 在上述背景下，本文旨在提高 60GHz 片上集成天线的性能，引入了人工磁导体（Artificial Magnetic Conductor，AMC）技术。作为一种新型的超材料（Metamaterial），人工磁导体能 够在特定频率表现出零相位反射特性，使天线电磁能量向外辐射，减少硅基底对电磁能量的 损耗，以此提高片上集成天线的性能。本文首先阐述了较为流行的 CMOS 工艺的相关内容， 主要包括六层金属结构，各个层介质材料的电参数以及厚度等等。随后介绍了这种工艺对天 线性能造成的各种影响：工艺中硅基底较厚，且介电常数高，使片上集成天线辐射的电磁能 量大部分以表面波的形式存在于硅基底中；硅基底的低电阻率又使电磁能量大部分以热能的 形式消散，从而造成了片上集成天线性能不佳。随后，基于标准 CMOS 工艺设计了两款平面 单极子天线：矩形单极子片上天线和环形单极子片上天线，通过 HFSS 15.0 软件建模仿真优 化使这两种天线满足 60GHz 频段要求，并对比分析了在 60GHz 频段的频域特性。然后，介 绍了人工磁导体的相关理论，并在此基础上通过 HFSS 15.0 软件在人工磁导体单元设置边界 条件来模拟无限个周期的人工磁导体，设计出了三种新型六边形人工磁导体结构：正六边形、 正六边环形和六边雪花形人工磁导体。最后，基于标准 CMOS 工艺，将三种人工磁导体分别 应用于环形单极子天线，分析比较这三种人工磁导体对环形单极子天线性能的影响，得出六 边形雪花人工磁导体对天线性能提高最大。并研究了将其置于不同金属层、不同层数的人工 磁导体和不同面积大小的人工磁导体层对环形单极子天线的影响。 关键词：60GHz，片上集成天线，人工磁导体，标准 CMOS 工艺，单极子天线 I ABSTRACT With the increasingly tight of wireless communication spectrum resources, high data transfer rates take the trend. 60GHz wireless short range communication technology has aroused peoples attention, and became one of the most promising technologies in wireless communi