基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究【文献综述】.docVIP

毕业设计文献综述 电子信息科学与技术 基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究 摘要 ：硫系薄膜是以硫系玻璃为靶材制得的，它是含有一种或多种除氧之外的氧族元素，同时加入As、Ga等的电负性较弱的元素得到的一种高性能的非晶薄膜。作为一种光功能材料，其特殊的非线性性质、荧光特性、量子尺寸效应和其他重要的物理化学性质，在信息、激光、计算机、自动化、航空航天以及现代化国防技术中有广泛而重要的应用。 关键词：硫系非晶薄膜，制备与检测，光学应用。 一、引言 硫系玻璃由元素周期表中第五族元素硫、硒、碲或其与金属结合形成的玻璃态材料。该材料具有很好的红外透过性能、半导体导电性、对杂质的敏感性低等特点。是很好的光学与电学材料。采用纳米技术将硫系玻璃材料纳米化后，这种材料被赋予了既有别于体相材料又不同于单个分子的特殊性质。量子尺寸效应会影响物质的能隙变宽和能级 。由于纳米粒子的表面效应使得硫化物纳米微粒表面构型和原子输送的变化，也会引发微粒表面电子能谱和自旋构象的变化，对其电学、光学以及非线性光学性质等具有重要的影响。 新材料在未来科学技术的发展中起着非常重要的作用，它将促使科学技术的迅速发展，尤其是光电子信息材料的研究发展更是举足轻重。新材料的发展、应用，正影响着现在科学技术的发展方向。自80年代以后，科学技术的发展促使人们创造出超导、超硬、超纯等材料，这就意味着人们要不断地改进制备工艺，以满足新的应用要求并扩展材料的应用领域改进材料的方法之一就是在原材料的制备中使化学组成达到超细性、高均匀性、高纯性。电子技术的发展使以往需要大量元器件共同实现的功能，现在仅需少数几个器件或一块集成电路板即可完成。薄膜技术正是实现器件小型化和智能化的有效手段[2]。此外，薄膜技术作为一种制备方法可以将不同材料复合在一起，使其发挥各自的优势，避免单一材料的局限性。 科学技术的飞速进步，使得光电功能材料在计算机、信息、激光、航空航天、自动化以及现代国防工业中有着举足轻重的地位，受到广泛的应用。各种新型薄膜技术与光电薄膜器件正在相辅相成地不断拓展中，光电薄膜器件的产品也以7.7%的年增长率发展着。随着红外光学技术的不断发展，人们对透过波长在中远红外区域的红外传输材料诸如重金属氧化物玻璃、卤化物玻璃、硫系玻璃等投入了越来越多的关注，其中以S、Se、Te和Ge、As、P等元素所制成的硫系玻璃因在红外区域具有透过范围大（1-20μm）、折射率高（n=2.1-2.7）、双光子吸收系数小、声子能量低、光学非线性和光敏性优良等优点成为可替代硅材料实现全光器件的理想材料。 1、薄膜材料 1.1薄膜技术的发展 薄膜的历史可以追溯到一千多年前，18世纪以后才从科学或物理的角度去研究薄膜。对薄膜的正式研究是从19世纪初开始的，直到19世纪中期，电解法、化学反应法、真空蒸镀法等相继出现，所谓固体薄膜的制造技术才逐步形成【2】。 自20世纪70年代以来，薄膜技术得到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果。薄膜技术材料已成为当代真空技术和材料科学中最活跃的研究领域。薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品的全方位开发与应用。 薄膜材料相对于块体材料的优点： （1）电子技术的发展使以往需要大量元器件共同实现的功能，现在仅需少数几个器件或一块集成电路板即可完成。薄膜技术正是实现器件小型化和智能化的有效手段【3】。 （2）许多情况下，材料功能的发挥和作用发生在材料的表面，例如化学催化作用、光学反射、场致发射、热电子溢出等物理化学现象。薄膜材料与块体材料相比不仅保护资源而且降低成本。 （3）薄膜材料往往具有一些块体材料所不具备的性能。这是因为薄膜材料接近围观离子尺度，容易形成非晶状态；薄膜材料容易处于亚稳定状态；薄膜往往偏离化学计量比；特殊的材料表面性状等等【4】。 （4）各种材料都有其局限性，薄膜技术作为一种制备方法可以将不同材料复合在一起，使其发挥各自的优势，避免单一材料的局限性。 1.2薄膜材料的分类 薄膜材料按其功能不同可以分为功能薄膜和结构薄膜，前者是利用薄膜本身的性能制成元器件，而后者则主要是用于增强底材使用性能如耐磨、耐腐蚀、耐高温、耐氧化性等。具体可以划分为电子薄膜、光学薄膜、机械薄膜、装饰薄膜等。其中有着广泛应用的电子薄膜主要种类有：超导薄膜、导电薄膜、电阻薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、绝缘薄膜、保护薄膜、铁电薄膜、压电薄膜、热释电薄膜、光电薄膜、磁性薄膜、磁电薄膜、磁光薄膜等【5】。 1.3薄膜材料的制备工艺 薄膜的制备方法、工艺主要可以分为两大类：物理法和化学法。二者的不同在于前者主要是利用高温所引起的物质蒸发或电子、离子、光子等核能粒子的能量所造成的靶物质溅射等方法，在衬底上形成所需要的薄膜。化学法目前发展较快，可以用来制