太阳能用透明导电AZO薄膜的研究【文献综述】.docVIP

毕业设计文献综述 通信工程 太阳能用透明导电AZO薄膜的研究 摘要： 氧化锌掺铝（AZO）透明导电薄膜是一种重要的功能性材料。在可见光的范围内，有着很高的透射率，在高温条件下化学性质稳定，不易与氢和氢离子发生反应，不会使太阳能电池材料活性降低。材料来源丰富，价格便宜，在太阳能，光电传感，液晶显示，雷达通信等领域有着广泛的应用前景。目前制备AZO膜的方法有磁控溅射法，化学气相沉积法，溶胶凝胶法等。溶胶凝胶法是制备薄膜的一种比较经典的技术，一般以醋酸锌和氯化铝为原料使锌的化合物沉积出来，制成涂层并退火，制成的薄膜均匀性好，对衬底附着力强，且制备条件相对缓和，无需真空，适合工业生产。 关键字：AZO；太阳能；光电传感；溶胶凝胶法。 引言： AZO薄膜的制备技术发展非常快，有直流磁控溅射法，射频磁控溅射法，化学气相沉积法，溶胶凝胶法等[1]。因为其在真空条件下的制备条件非常苛刻，设备昂贵，操作复杂，所以如何实现低成本，大规模生产是一个热门的研究课题。而溶胶凝胶法无需真空设备，成本低，适合批量生产。本课题主要研究的是室温下不同的Al3+掺杂浓度对导电薄膜导电率的影响，以及实验温度，溶胶浓度对薄膜的导电性能的影响，最终确定最佳的Al3+掺杂浓度和反应条件。 研究的背景及意义： 伴随着太阳能产业的发展，透明导电氧化物薄膜随之发展起来。此类薄膜具有电阻率低，可见光区的透射率高等优良的光电特性，在太阳能电池，平面显示，雷达，传感器等光电领域有着广阔的应用前景。薄膜太阳能电池可以广泛的应用于通信电子产品中，节省了宝贵的能源，而且无污染。在山区或者偏僻的地方，通信电子产品往往受到没有电源的困扰，而薄膜太阳能电池的应用恰好可以解决这个问题。在通信领域的信息接收方面，AZO薄膜良好的光电特性可以用于光电传感器，薄膜将光电电子器件和传统的硅平面工艺相结合，具有良好而稳定的化学和物理特性，可广泛应用于光电探测，传感器和光通信领域。所以研究AZO透明导电薄膜的性能和最佳制作工艺具有积极的意义[2]。 国内外研究现状： AZO透明导电薄膜是金属透明导电薄膜的一种，而金属氧化物透明导电膜种类繁多且研究比较早，Bakdeker于1907年第一个报道了CdO透明导电膜。1950年前后出现了硬度高、化学性能稳定的SnO2。基和综合光电性能优良的In2O3基薄膜。1985年，Takea ojio Sizo Miyata首次用气相聚合方法合成了导电的PPY—PVA复合膜，从而开创了导电高分子的光电领域。2009年，日本开发出可替代ITO的透明导电薄膜[3]。 在AZO透明导电薄膜的领域，国内外的学者也已经有广泛的研究，光是AZO薄膜的制备方法就有直流磁控溅射法，射频磁控溅射法，脉冲激光沉积法，喷雾热分解法，化学气相沉积法，以及溶胶凝胶法等等[4]。关于溶胶凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究也有很多，研究者都专注于如何提高薄膜结构和光电特性。用溶胶凝胶法制备的AZO薄膜的电阻率在7×10-4-10Ω?cm之间，而用溅射法得到的AZO薄膜的电阻率比用溶胶凝胶法得到的要优异，可以达到1×10-4Ω?cm，为了提高AZO薄膜的性能，各国研究人员进行了大量的研究，并取得了一些成果。有研究认为AZO薄膜在还原气体气氛中进行退火和热处理可以提高薄膜的光电性能。科学家Ohyama等采用乙二醇甲醚和单乙醇胺等高沸点溶剂，可促使AZO薄膜的择优生长，以提高薄膜的光电性能[5]。 实验方法特点： 溶胶凝胶法对生产工艺的要求低，简单，易于掌握，成本低，广泛地应用于合成和制备各类薄膜。具体的优点有[6]： 工艺的过程温度低，无需复杂昂贵的设备和真空条件，制备过程简单易控制； 成膜均匀性好，组分均匀度可达分子或原子水平。 制成的膜纯度很高。 可在溶液中掺入一些离子或其他颗粒，有效控制和改变薄膜材料的微观结构。 在制备方面可以大面积地成膜，也能制成各种几何形态：块体、薄膜、粉末、纤维等。 主要的缺点有： 衬底需要高温热处理，薄膜的厚度不易控制和掌握。 制备过程中有诸多变量影响薄膜的质量。 相比较而言，溶胶凝胶法仍是目前为止制备薄膜的一种优异的方法，为薄膜制备的发展提供了有利空间。 实验工艺过程： 溶胶凝胶法的基本工艺如图1-1所示[6]: 前驱体 前驱体 溶剂 催化剂 溶胶湿凝胶 水解聚缩 陈化 溶胶 湿凝胶 涂层 干燥 成品干凝胶 热处理 成品 干凝胶 图1-1 溶胶-凝胶法基本工艺过程示意图 第一步制取包含金属醇盐的均相溶液，保证醇盐水解反应在分子水平进行。因为金属醇盐在水中溶解度不大，所以一般选取醇作为溶剂。催化剂对反应的各个部分如水解、缩聚和陈化等都有重要的影响。为保证溶液良好的均相性，在制备过程中需