贵金属纳米颗粒表面等离激元调控及应用研究-动力工程及工程热物理；可再生能源与清洁能源专业论文.docx

lIII]l lIII]l Ill I II Ill LIII Illl I II IIl Classified Index：TM7 1 Y31 1 393 1 U．D．C：621．3 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering Tuning and Applications of Surface Plasmon in Noble Metal Nanoparticles Candidate： Han Dai Supervisor： Prof．Mei Cheng Li Academic Degree Applied for： Doctor of Engineering Thermal Power Engineering Speciality： School： School of energy and power engineering Date of Defence： June，2016 Degree—Conferring-Institution： North China Electric Power University 万方数据 华北电力大学博士学位论文原创性声明本人郑重声明：此处所提交的博士学位论文《贵金属纳米颗粒等离激元效应 华北电力大学博士学位论文原创性声明 本人郑重声明：此处所提交的博士学位论文《贵金属纳米颗粒等离激元效应 的调控及应用研究》，是本人在导师指导下，在华北电力大学攻读博士学位期间 独立进行研究工作所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分外不包含他 人已发表或撰写过的研究成果。对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体， 均已在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。 作者虢掰 吼朋年／月知日 华北电力大学博士学位论文使用授权书 《贵金属纳米颗粒等离激元效应的调控及应用研究》系本人在华北电力大学 攻读博士学位期间在导师指导下完成的博士学位论文。本论文的研究成果归华北 电力大学所有，本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解华 北电力大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留并向有关部门送交论 文的复印件和电子版本，允许论文被查阅和借阅，学校可以为存在馆际合作关系 的兄弟高校用户提供文献传递服务和交换服务。本人授权华北电力大学，可以采 用影印、缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的全部或部分内容。 本学位论文属于(请在以上相应方框内打“√)： 保密口，在 年解密后适用本授权书 不保密酣 作糍：截茁 吼夕护僻钿夕锢 导师签名： 镑q 日期：2 D／饵厶月岁钼 万方数据 摘 摘 要 摘 要 表面等离激元是指电磁场被约束在金属纳米结构附近致使金属自由电子与 光子形成一种奇特的电子．光子耦合态。这种电子．光子的耦合使得金属纳米颗 粒附近形成一个相当强的局域场增强电磁场同时显著的改变电磁波的传播方 向。目前，金属纳米颗粒的等离激元效应在太阳能电池、光催化等领域得到广 泛的应用。本文主要对不同形貌、尺寸的贵金属纳米颗粒等离激元效应进行了 实验研究和模拟分析，并探索了等离激元效应在太阳能电池以及贵金属辅助Si 刻蚀的应用。主要内容如下： (1)为了实现等离激元的调控，探究了金属纳米颗粒的制备以及颗粒形貌控 制与排布工艺。具体包括：磁控溅射退火工艺实现Ag纳米颗粒尺寸、分布的调 控。超声波处理实现金属纳米颗粒的尺寸与形貌形貌控制以及流体在固体表面铺 展实现金属纳米颗粒的定向排布。 (2)研究了金属纳米颗粒的局域等离子增强在传统硅基太阳能电池减反射 层中的应用。发现金属纳米颗粒与金字塔减反射结构结合可以显著的降低太阳能 电池表面反射率。通过优化Ag纳米颗粒尺寸、分布，得出球形金属Ag颗粒的 直径一般为100 nm最有利于太阳能电池的表面消光。在此基础上，进一步研究 了温度对Si表面金属Ag纳米颗粒等离激元的影响。通过研究温度引起的金属 Ag纳米颗粒．Si复合结构反射率随温度的变化规律，揭示了金属Ag纳米颗粒等 离激元效应热稳定性与Ag纳米颗粒粒径之间的关系。通过研究温度对等离激元 效应的影响机制，发现等离子激元效应的改变的主要是由Ag纳米颗粒．Si复合 结构肖特基结区电子受温度影响造成的。 (3)分析了贵金属辅助Si刻蚀中的电子以及物质传输机制。通过制备不同 的金属纳米颗粒与衬底接触方式，研究纳米颗粒与衬底的接触对刻蚀过程中电子 传递的速率以及传输方向的影响。在常用刻蚀液配比条件下，发现随着金属纳米 颗粒与衬底的接触逐渐减小时，电子传输方向由直接通过金属进入溶液逐渐的变 为从金属和刻蚀壁两个方向进入溶液。通过加载掩膜的手段，探究了刻蚀过程中 刻蚀反应物的传输途径。通过实验证实，Si与Au首先在Au的表面处形成Si