纳米Cu薄膜摩擦的桥域多尺度模拟分析-中国有色金属学报.PDFVIP

第 28 卷第 11 期 中国有色金属学报 2018 年 11 月 Volume 28 Number 11 The Chinese Journal of Nonferrous Metals November 2018 DOI ：10.19476/j.ysxb.1004.0609.2018.11.17 纳米Cu 薄膜摩擦的桥域多尺度模拟分析 桂军敏，倪玉山 (复旦大学 航空航天系，上海 200433) 摘 要：为了研究纳米材料的微观变形过程，采用桥域方法(Bridging domain method)对纳米尺度下 Cu 薄膜表面 摩擦过程进行模拟，得到摩擦阻力和系统变形能随摩擦距离的变化曲线，摩擦过程中存在静−动摩擦转化点。微 观分析表明：摩擦初期 Cu 薄膜变形处于弹性阶段，随压头前方原子堆积，Cu 薄膜进入塑性变形阶段，直接出现 4 层及以上原子的稳定滑移，同时薄膜内发射出沿非摩擦方向的斜向滑移带。以中心对称系数为度量捕捉到斜向 滑移带内 V 形位错结构的产生与演化过程，确定 V 形位错的运动对摩擦塑性阶段的变形释放起主导作用。此外， 对位错原子数目的统计分析表明，宏观下薄膜表面摩擦阻力的多次突跳是由微观结构下不全位错向全位错的发展 所致；最后定量化分析位错、孪晶等不同变形机制对总应变的贡献比重，得到摩擦过程中位错滑移原子的应变贡 献比重稳定在 10%左右，而孪晶迁移的应变贡献比重稳定在 2.5%左右。 关键词：纳米 Cu 薄膜；三维；桥域法；纳米摩擦；位错 文章编号：1004-0609(2018)-11-2305-08 中图分类号：O346 文献标志码：A 材料微观结构的本质差异性使得其在外部作用下 目前，微纳摩擦行为的数值模拟研究大多基于分 的变形反应千差万别，研究材料微纳观尺度下的结构 子动力学方法，刘小明等[3−4]研究了 Ni 晶体薄膜摩擦 变化特征对认识与改造材料的宏观表现意义重大。一 过程的弹塑性变形纳观机制及位错与薄膜晶界的作用 方面，随着人类对物质构成认识的不断加深，关于材 关系，采用位错机制来解释塑性变形下原子尺度黏− 料弹性、塑性、强度等力学特性的宏观理论体系得到 滑现象的机理；CHAMANI 等[5]模拟了柱状纳米 Ni 晶 了不断完善，但微观下的认识还有待进一步丰富；另 体的摩擦行为，分析了晶粒尺寸、形貌等对摩擦因数 一方面，随着超精密仪器在工业生产上的推广，人们 的影响；CHEN 等[6]研究了 Ni 晶体薄膜摩擦过程中摩 对材料加工精度的要求日益提高，材料的微纳米加工 擦速度对热耗散机制的影响。但到目前为止，对摩擦 技术在表面科学、电子学等领域内得到越来越多的重