精密XY位移平台-PhysikInstrumente.PDF

精密XY位移平台 高运动精度和稳定性，行程为305 × 305毫米 L-741  行程为305毫米×305毫米（12英寸）  单向重复精度达0.05微米  速度达90毫米/秒  两相步进电机或直流电机  增量线性编码器分辨率为1纳米  20000次脉冲/分辨率的旋转编码器 增量编码器用于高精度位置测量 非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。 光学限位和参考点开关。 交叉滚柱导轨 对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载 更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保 持架防止保持架蠕变。 驱动器类型  两相步进电机可实现高转矩（即使低速时）和高分辨率  直流电机可实现高速度稳定性、低振动和高速 可按需提供其他行程。 应用领域 医药行业, 激光切割, 生物技术, 计量, 激光打标 16.07.2018 规格 运动 L-741.131100 / L-741.131111 / L-741.131112 单位 公差 主动轴 X, Y 行程 305 × 305 毫米 角度误差xry （螺距） ±60 微弧度 典型值 角度误差xrz （偏转角） ±40 微弧度 典型值 角度误差yrx （螺距） ±60 微弧度 典型值 角度误差yrz （偏转角） ±40 微弧度 典型值 直线度/平面度 ±4 微米 典型值 正交性 ±96.963 微弧度 典型值 速度 45 毫米/秒 最大 定位 L-741.131100 L-741.131111 L-741.131112 单位