菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计-强激光与粒子束.PDF

　第 15 卷 　第 2 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 15 ,No. 2 　 　2003 年 2 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Feb. ,2003 　 文章编号 : (2003) 菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计 谭峭峰 , 　严瑛白 , 　金国藩 , 　邬敏贤 , 　徐端颐 ( 清华大学 精密测试技术与仪器国家重点实验室, 北京 100084) 　　摘 　要 : 　采用精细化设计方法 ,进行了菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计 ,利用爬山模拟退火混合优 化算法 ,获得了真实的束匀滑分布 ,不仅控制了算法采样点上的光强分布 ,还控制了其他非采样点上的光强分 布。优化得到的束匀滑器件的位相深度小于 π,易于后续加工。 　　关键词 : 　菲涅耳区 ; 　衍射光学器件 ; 　束匀滑 ; 　精细化设计 　　中图分类号 : 　TH74 　　　　文献标识码 : 　A 　　在许多强激光应用领域[1～3 ] ,需要束匀滑光强分布 ,而衍射光学是实现束匀滑光强分布的一种行之有效 的技术途径。通常情况下 ,束匀滑光强分布在聚焦透镜的焦面上获得 ,即夫琅和费衍射区。为获得真实的束匀 滑分布 ,采样间隔需小于等于传统采样间隔的一半 , 以此进行精细化设计,可同时控制算法采样点与非采样点 上的光强分布 ,在焦面上获得真实的束匀滑分布[4 ,5 ] 。 　　为提高器件的抗激光损伤阈值 ,衍射光学束匀滑器件的位相分布应变化平缓 ,采用爬山模拟退火混合优 ( ) 化算法可得到变化平缓的位相分布 ,但其最大最小位相间的差值 位相深度 一般比较大 ,几个计算实例都在 4π左右[4 ,5 ] 。如果对 GS , YG 等迭代算法优化得到的位相进行位相展开处理 , 以获得平缓变化的位相分布,其 π [6 ] ( ) 位相深度远在 4 之上 。加工出具有如此大位相深度的衍射光学器件 DOE 是极为困难的。为减小位相深 度、降低加工难度 ,本文进行了菲涅耳区束匀滑器件的精细化设计 ,在离焦面上获得真实的束匀滑分布 ,且其位 相深度小于 π,大大降低了加工难度 ,易于后续加工。 1 　设计原理 　　为简单起见 , 以一维为例。如图 1 所示 ,如果在紧靠透镜 后表面的平面上的光场分布为 E0 ( x) , 则根据标量衍射理 论, 在 z 平面处的光场分布为 + ∞ π ( ) ( ) ( ) 2 ( ) Ez x ′ = C E0 x exp [ i λ x ′- x ] d x 1 ∫ z - ∞ ( ) ( λ) πλ 式中 : C = exp i kz / i z , k = 2 / 。 　　衍射光学器件离散化为多台阶位相结构。设器件口径为 D , 位相等分为 N 单元 ,则其透过率函数为