背散射电子图像如何提高其质量.PDF

背散射电子图像：如何提高其质量 发布者：飞纳电镜 背散射电子 （Backscattered electron -BSE ）图像会体现有关样品材料衬度的信息。利用 背散射电子探测器 （BSD ）获取样品图像的质量会受到很多因素的影响，如样品的电导率， 形貌 ，样品成分，BSD 探测器类型以及电子器件等。 在本篇博客中，将使用同一套成像系统、完全相同的探测器对同一个样品进行控制变量实 验，分析影响背散射电子图像质量的因素 ，这些因素包括采样帧数、束流强度，以及工作 距离、样品仓真空度等。 扫描电镜的背散射电子成像 背散射电子一种电子枪中电子与样品表面原子的原子核发生弹性散射进而被收集到的高能 量反射电子。更多关于背散射电子的形成机理和在扫描电镜中收集背散射电子信号的方法 请点击此处查阅。 首先 ，背散射电子（BSE ）图像的质量当然取决于探测器的类型及其电路设计 ，还取决于 样品的类型以及导电性的好坏。但是如果讨论使用一台探头型号固定的扫描电镜观察特定 样品（这意味着探头、镜筒、样品导电率不能改变），那么还有哪些因素会决定背散射图 像的质量呢 ？ 1 如何判定背散射电子图像的质量 为了比较一系列图像的质量，可通过计算峰值信噪比（PSNR ）来完成。PSNR 的定义如下： 其中，nx 和 ny 为图像像素大小，r （x ，y ）为参考图像，t （x ，y ）为测试图像。实质上， 在这个公式里，参考图像中像素的最大强度（信号）除以参考图像和测试图像之间的强度 差，即可得到峰值信噪比（PSNR ）。 在获取图像时，拍摄一张图像所用的帧数越大 ，图像噪声越低，如图 1 所示。在这个例子 中，我们在相同样品相同位置采集了 4 张图像，只把帧的数量作为变量 ，采集帧数分别设 置为 1、4、16 和 32。帧数越高，峰值信噪比越高，如表所示： 在这里，峰值帧数 PSNR 以 32 帧图像为参考计算。 2 图 1 ：同一样品同一区域的背散射电子（BSE ）图像，只把拍摄帧数作为变量 ，从1 到 32 所获得的图像 电子束束流强度的影响 图像的质量还取决于主电子束的束流强度。使用低束流强度拍摄的图像比高束流强度获得 的图像“噪音更大”。如图 2 所示，还是在同一样品同一区域拍摄了四张图像，其他条件 完全相同时（ 10kV 加速电压），只改变了电子束束流强度，分别约为