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01静电防护作业.ppt 28页

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靜電防護作業 大綱 靜電產生的原理 靜電的放電模式 廠內靜電消除模式 靜電量測儀器 結論 靜電產生原理 我想很多人都曾經有過這樣的經驗:當你有一片賽珞(硝纖象牙)質料的板子與頭頂磨擦時,頭髮會被吸引起來,此外在冬天當您上、下車手去接觸到車門時,也會有被電到的感覺。這些現象全部都是由靜電所引起的 還有,在脫毛衣時會有啪、啪的爆裂聲;平常衣物會與身體貼在一起;梳頭髮時,毛髮容易斷裂。。。。這些都是在日常生活中因為抗靜電的產生所造成的困擾 靜電的現象連在制造、生產業界也不例外 靜電發生的原因大致上可分為下列五個項目: 1、接觸 2、剝離 3、磨擦 4、衝撞 5、破壞 決定帶電量的主要因素 接觸面積:表面積愈大,帶電量亦多。 壓力:壓力愈大,帶電量也愈多。 摩擦頻率:頻率愈高,帶電量愈多。 速度:速度愈快,帶電量愈多。 濕度:濕度愈低,帶電量愈多。 1.人體放電模式(Human-Body Model, HBM) A.人體因在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電 B.當此人去碰觸到IC時,人體上的靜電便會經由IC的腳(pin)而進入IC內,再經由IC放電到地去 C.此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns)的時 間內產生數安培的瞬間放電電流,此電流會把IC內的元件給燒毀。 D.對一般商用IC的2KV ESD放電電壓而言,其瞬間放電電流的尖峰值大約是1.33 安培。 2.機器放電模式(Machine Model, MM) (CDM) ESD可能發生的原因-2 消滅或降低電荷產生的機會 消散或中和已產生的電荷 以適當的管理方式來保護產品,使其遠離ESD的威脅. 加強元件本身底抗靜電的能力 目前廠內用消散及導通的方式來消除靜電 檢討時間 * * 二. ESD靜電放電的模式 因ESD產生的原因及其對積體電路放電的方式 不同,ESD目前被分類為下列四類: 1.人體放電模式(Human-Body Model, HBM) 2.機器放電模式(Machine Model, MM) 3.元件充電模式 (Charged-Device Model, CDM) 4.電場感應模式 (Field-Induced Model, FIM) HBM ESD的發生 機器放電模式的ESD是指機器本身累積了靜電 (例如機械手臂)當此機器去碰觸到IC時,該靜 電便經由IC的pin放電。 3.元件充電模式-1(Charged-Device Model, CDM) A.此放電模式是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累積了靜電,但在靜電累積的過程中IC並未被損傷。 B.此帶有靜電的IC在處理過程中,當其pin去碰觸到接地面時,IC內部的靜電便會經由pin自IC內部流出來,而造成了放電的現象。 (CDM) ESD可能發生的原因-1 4.電場感應模式(Field-Induced Model, FIM) A.FIM模式的靜電放電發生是因電場感應而起的 B.當IC因輸送帶或其他因素而經過一電場時,其相對極性的電荷可能會自一些IC腳而排放掉,等IC通過電場之後,IC本身便累積了靜電荷,此靜電荷會以類似CDM的模式放電出來。有關FIM的放電模式早在雙載子(bipolar)電晶體時代就已被發現,現今已有工業測試標準 C.在國際電子工業標準(EIA/JEDEC STANDARD)中,亦已對此電場感應模式訂定測試規範 (JESD22-C101),詳細情形請參閱該工業標準 三. ESD之防護 -2 站別:IC、SUB FPC上料 站別:零件檢驗與清潔 靜電防護作業(消散)-1 站別:ILB Bonding 靜電防護作業(消散)-2 站別:ACF貼附(機台正面) 站別: ACF貼附(機台反面) 靜電防護作業(消散)-3 站別:OLB Bonding 站別: :OLB Bonding 靜電防護作業(消散)-4 站別:一次檢查 站別: 封膠 靜電防護作業(消散)-5 站別:前/後組裝 站別: 前/後組裝 靜電防護作業(消散)-6 站別:完成檢查 站別: 外觀檢查 靜電防護作業(消散)-7 改善前 改善後(抗靜電Tray) 靜電防護作業(導通)-1 用靜電手環 用靜電腳環 靜電防護作業(導通)-2

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