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第五章：辉光放电 5.5 各种类型的辉光放电 高气压辉光放电实现途径 改善电极材料及结构 电阻性阴极 第五章：辉光放电 5.5 各种类型的辉光放电 高气压辉光放电实现途径 改善电极材料及结构 介质阻挡电极 第五章：辉光放电 5.5 各种类型的辉光放电 高气压辉光放电实现途径 改善电极材料及结构 梳妆表面电极 第五章：辉光放电 5.5 各种类型的辉光放电 高气压辉光放电实现途径 改善电极材料及结构 螺旋电极 第五章：辉光放电 5.6 空心阴极放电 p=高 Uc=低 粒子数反转密度 N=大 Ua ?, j?的增加不完全依靠正离子轰击阴极引起的次级电子发射 ?电子振荡 ?紫外光 ?亚稳原子产生的次级电子发射 而D ???? j ?=0 ? 因为发展电子雪崩的空间过小 第五章：辉光放电 5.6 空心阴极放电 ----光谱光源 在空心阴极灯中两个电极间加上一定的电压，灯点燃此时电子由阴极高速射向阳极。 在此过程中，电子与惰性气体相碰撞，使其电离成离子。 在电场作用下，惰性气体的正离子强烈地轰击阴极表面，使阴极表面的金属原子溅射。 所溅射出来的金属元素在阴极区受到高速电子及离子流的撞击而击发，而发射出金属元素的特征谱线。 第五章：辉光放电 5.6 空心阴极放电 ----空心阴极放电激光器 第五章：辉光放电 l、空心阴极放电时，空腔中央形成负辉区重叠，出现以槽中心线为对称的电位分布曲线，如阴极槽一侧面发射出电子经过该阴极区获得能量，而未发生非弹性碰撞，这高能电子就容易穿过负辉区而进入另一侧阴极位降区，同样这个电子在这一位降区的作用下，又可获得能量，如此往反，形成高能电子在空腔内来回运动，使高能电子与气体原子发生非弹性碰撞的几率大大提高，增强了原子的激发与电离几率。 ----空心阴极放电激光器 第五章：辉光放电 2、负辉区本身就是带电粒子密度较高的等离子区，而重叠的负辉区带电粒子密度更高，可高达1015cm-3左右。这高密度的电子群可分为两类:一类是经过阴极区发生非弹性碰撞而损失了能量的低能电子，与新产生的低能电子组成慢速电子群，另一类是经阴极区未发生非弹性碰撞的高能电子，它们在空腔内来回运动组成高速电子群。因此在负辉区中电子速度是偏离麦克斯韦速度分布，增强了快速电子群。 ----空心阴极放电激光器 第五章：辉光放电 3、由于阴极空腔的限制，负辉区中强烈地辐射光子离子以及其它高能粒子等，都容易轰击上阴极两侧，引起强烈的二次电子发射与金属溅射，使阴极附近出现较高的金属蒸汽压。 由于上述空心阴极放电的特点，用放电激励很易 形成粒子数反转，辐射光子。 ----空心阴极放电激光器 第五章：辉光放电 5.6 空心阴极放电 条件: D2dn, 1torr.cmpD100torr.cm L/D7 特性: 相同条件下，J空心阴极j正常 J空心阴极j正常时, Ua相差不多 负辉区:适于激励金属蒸气离子激光系统 快电子:20eV, 平均:5-6eV 慢电子: 1eV 阴极溅射(正常空心阴极反常) 第五章：辉光放电 5.6 空心阴极放电 ----空心阴极放电的电流密度 组成： 离子轰击阴极的电子发射 阴极暗区的光子在阴极上产生的光电效应 来自辉光区域的光子在阴极上产生的光电效应 要维持空心阴极放电，必须有相当强的光辐射， 尤其是那种能量大的紫外光辐射。 第五章：辉光放电 5.6 微空心阴极放电MHCD (micro-hollow cathode discharge) 高气压 高能电子数目多 可并联放电 微空心阴极放电 微空心阴极自持辉光放电 第五章：辉光放电 5.6 微空心阴极放电MHCD 微空心阴极放电阵列 第五章：辉光放电 5.6 微空心阴极放电MHCD 微空心阴极放电沉积薄膜 第五章：辉光放电 5.7 阴极溅射(溅射率 --SY) 规律: 正离子质量? ?溅射? Uc ? ? 溅射? SY?溅射时间 和 j W ?(j/p)5/2 p ? ? SY? 阴极材料和表面状况 强 ? 弱: Ag ? Au ? Pb ? Cu ? Pt ? Ni ? Fe ? Al 被溅射的粒子由阴极表面以直线形式向所有可能的方向飞出，W ?cos? 伴随有化学反应 第五章：辉光放电 5.7 阴极溅射 阴极溅射机理 离子冲击理论和热理论 阴极溅射的作用： 有害 --引起阴极表面损害 --引起漏电 --产生噪声 --缩短寿命 有利 --清除电极表