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第六章 压电式传感器 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料(石英晶体和压电陶瓷)的压电效应。 是双向传感器。实现力与电荷的双向转换。 第一节 压电效应 一、 压电效应 某些电介质, 当沿着一定方向对其施力而使它变形时, 其内部就产生极化现象(内部正负电荷中心相对位移), 同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷, 当外力去掉后, 其又重新恢复到不带电状态, 这种现象称压电效应。当作用力方向改变时, 电荷的极性也随之改变。 这种机械能转为电能的现象, 称为“正压电效应” 。 第二节 压电材料 明显呈现压电效应的敏感功能材料叫压电材料 第三节 压电元件的常用结构形式 一、压电元件的基本变形 第四节 等效电路与测量电路 一、 压电式传感器的等效电路 第五节 压电式传感器的应用 一、 压电式加速度传感器 1、结构 压电片用高压电系数的压电陶瓷制成。两个压电片并联。 质量块用高比重的金属块,对压电元件施加预载荷 习题 压电传感器也可以等效为一个与电容相串联的电压源。 电压源 电压灵敏度与电荷灵敏度之间的关系为: 二、 压电式传感器的测量电路 测量时,需把压电传感器用电缆接于前置放大器,前置放大器作用: 一是放大传感器输出的微弱信号 二是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗 1、电压放大器 等效电阻 等效电容 在力作用下产生的电压: 送入放大器输入端的电压为: 幅值为 与作用力之间的相位差为 传感器电压灵敏度为 当要使电压灵敏度为常数,应使压电片与前置放大器的连接导线为定长,以保证CC不变。 压电式传感器的高频响应很好。 2. 电荷放大器 看作是电荷负反馈电路 电荷放大器等效电路图 特点:输出电压与电缆电容CC无关,即与电缆长度无关,更换电缆不影响传感器灵敏度,且输出电压与输出电荷成正比。 它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。 整个部件装在外壳内, 并用螺栓加以固定。 测量时,将底座与被测量加速度的构件刚性地连接在一起,使质量块感受与构件完全相同的运动。当构件产生加速度时,质量块将产生惯性力F1,其方向与加速度方向相反,大小为F1=ma。此惯性力与预紧力F0叠加后作用在压电元件上,使得作用在压电元件上的压力F为: 压电元件上产生与加速度a对应的电荷,即 2、工作原理 * * 可测与力相关的物理量,如各种动态力、 机械冲击与振动。 在声学、 医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 缺点是无静态输出,要求有很高的电输出阻抗。需用低电容的低噪声电缆。 当在电介质极化方向施加电场, 这些电介质也会产生变形, 这种现象称为“逆压电效应”(电致伸缩效应)。可将电能转换为机械能。具有压电效应的材料称为压电材料, 压电材料能实现机—电能量的相互转换。 压电效应 _ y 逆压电效应 + 在自然界中大多数晶体具有压电效应, 但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究, 发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 压电效应表达式 d--压电系数; F-外作用力 为了使用方便,常用压电应变常数,则有 物理意义:在短路条件下,单位应力所产生的电荷密度 压电材料可以分为两大类: 压电晶体和压电陶瓷 。 压电材料的主要特性参数有: (1) 压电常数:压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数, 它直接关系到压电输出的灵敏度。 (2) 弹性常数:压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 (3) 介电常数:对于一定形状、 尺寸的压电元件, 其固有电容与介电常数有关; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 (4) 机械耦合系数:在压电效应中, 其值等于转换输出能量(如电能)与输入的能量(如机械能)之比的平方根; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 (5) 电阻压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏, 从而改善压电传感器的低频特性。 (6) 居里点压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。 1、单晶体 石英晶体是单晶体结构。它是一个正六面体,有右旋和左旋晶体之分,外形互为镜像对称。 石英晶体各个方向的特性是不同的。在直角坐标系中,它有三个轴。 电轴(X轴):平行于相邻柱面内夹角的等分线棱线,垂直于此轴面上的压电效应最强。 机械轴(Y轴):垂直于棱柱面。 在电场(沿X向作用下,沿该轴方向的机械变形最大。) 光轴(Z轴):垂直于XY。光线沿该轴通过石英晶体时,无折射,在此方向加外力,无压电效应现象 。 结论:通常把沿
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